公开(公告)号：CN118961013A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411136669.3

申请日：2024-08-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 薛晨阳 ,  海振银 ,  朱宏田 ,  梁睿 ,  朱祥 ,  郭茂成 ,  张奇

IPC: G01L1/24 ,  G01L11/02 ,  G02B6/255 ,  G02B6/25

Abstract: 本发明公开了一种蓝宝石光纤微型空腔耐高温压力传感器及其制备方法。制备方法包括同质异径的蓝宝石光纤端面的加工，特别在大直径蓝宝石光纤端面的飞秒激光干法刻蚀加工方法、基于CO2激光加热技术处理蓝宝石光纤内槽端面方法；还包括基于电弧放电技术的同质异径蓝宝石光纤熔接方法，由此在熔接点与研磨端面之间构成完整的微型空腔，微型空腔能够形成法布里‑珀罗干涉腔，其受温度和压力影响时，腔长会发生相应的变化，外界环境的压力或温度可通过测量该腔长的变化进行计算。本发明技术方案制备的蓝宝石光纤微型空腔耐高温压力传感器，熔点高、硬度强，同时具备抗电磁干扰能力。