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公开(公告)号:CN118961013A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202411136669.3
申请日:2024-08-19
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种蓝宝石光纤微型空腔耐高温压力传感器及其制备方法。制备方法包括同质异径的蓝宝石光纤端面的加工,特别在大直径蓝宝石光纤端面的飞秒激光干法刻蚀加工方法、基于CO2激光加热技术处理蓝宝石光纤内槽端面方法;还包括基于电弧放电技术的同质异径蓝宝石光纤熔接方法,由此在熔接点与研磨端面之间构成完整的微型空腔,微型空腔能够形成法布里‑珀罗干涉腔,其受温度和压力影响时,腔长会发生相应的变化,外界环境的压力或温度可通过测量该腔长的变化进行计算。本发明技术方案制备的蓝宝石光纤微型空腔耐高温压力传感器,熔点高、硬度强,同时具备抗电磁干扰能力。
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公开(公告)号:CN117705192A
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202311765656.8
申请日:2023-12-21
Applicant: 厦门大学
IPC: G01D21/02
Abstract: 本发明提供了一种光纤光栅和法珀谐振腔复合的温压流传感器,包括套管中呈三棱锥排布的刻有光栅的四根光纤,其中心位置的光纤端部还制备有法珀谐振腔。本发明通过测量光纤上的光纤光栅随外界温度变化同频产生中心波长的变化情况进而计算出外界温度;通过在中心位置的光纤上制备的法珀谐振腔,当其受到外界压力时,其膜片向腔内压缩,通过测量腔长改变量可计算出外界压力值;传感器上光纤不同位置的空间排布,可测量不同方向的温度变化和热流的大小。该传感器不仅具有同时测量多参量数据的能力还具有抗电磁干扰、灵敏度高、结构紧凑等优点。
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公开(公告)号:CN117451215A
公开(公告)日:2024-01-26
申请号:CN202311345746.1
申请日:2023-10-18
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了一种基于光纤光栅的热流传感器,包括套接在四孔结构耐高温套管中呈三棱锥排布的四根光纤和采用刻写有耐高温的四个光纤光栅,光纤光栅(Ⅰ)位于三棱锥顶点的光纤上且距该光纤末端距离为≤1cm,其余位置的的光纤光栅距其所在的光纤的末端距离>1cm。本发明提出一种基于光纤光栅敏感结构的热流传感器,该传感器具有耐高温、灵敏度高、结构紧凑和抗电磁干扰等优点,且其特殊的设计结构可以有效实现空间场热流大小及方向的测量,满足航空发动机等高温复杂环境场的热流测量需求。此外本发明还提供了一套热流测试系统,装配了如上所述的热流传感器。
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公开(公告)号:CN117506334A
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202311462716.9
申请日:2023-11-06
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明提供了基于蓝宝石光纤微泡结构的压力传感器及制备和使用方法,首先研磨蓝宝石光纤端面使其具有光学级别粗糙度,然后使用飞秒激光水击穿法刻蚀光纤端面使其构成中空腔体结构,最后采用电弧放电技术对蓝宝石光纤端面中空腔体结构进行多次放电,使其向内塌陷形成封闭的用于感知压力的微泡结构腔,所述微泡腔为法布里‑珀罗干涉腔。当其受到的压力改变时气泡壁面向腔内压缩,可以通过测量腔长改变量即可计算出环境的压力值。本发明所提供的技术方案制作出一种基于蓝宝石光纤微泡结构的耐高温压力传感器,所采用的蓝宝石光纤,具有极高的耐温性,同时,微泡结构制备工艺简单,可靠性高、可避免电磁干扰。
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公开(公告)号:CN221781720U
公开(公告)日:2024-09-27
申请号:CN202420334073.3
申请日:2024-02-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光纤式压力传感器增敏装置,包括基座,基座设有压力感应区和非压力感应区,压力感应区一体成型有感压膜片;还包括一体成型于感压膜片的引压柱和一体成型于非压力感应区的悬臂梁,悬臂梁的末端朝向引压柱延伸;还包括压力敏感芯体,压力敏感芯体的一端连接于引压柱,压力敏感芯体的另一端连接于悬臂梁,使得压力敏感芯体呈竖直状态。与现有技术的光纤式压力传感器相比,本增敏装置整体结构包括一体成型的基座、感压膜片、引压柱以及悬臂梁,不存在部件焊接引起热应力分配不均匀的问题,在实现增敏的同时解决了压力感应区与感应膜片之间的密封问题,确保测量结果的准确性。
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公开(公告)号:CN222087174U
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202420740811.4
申请日:2024-04-11
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光纤法珀压力传感器无胶封装结构,包括光纤、封装结构主体、陶瓷管、至少一个固定件、弹性件、端盖、端盖连接件,光纤内穿设有光纤法珀压力传感器敏感芯体,封装结构主体、陶瓷管、至少一个固定件、弹性件、端盖、端盖连接件的中间均设有可容纳光纤穿过的中心孔,封装结构主体的两端设有与中心孔同轴的第一安装槽和第二安装槽,陶瓷管安装于第一安装槽内,光纤末端的光纤法珀压力传感器敏感芯体裸露于陶瓷管的第一端面,至少一个固定件和弹性件穿过光纤并安装在第二安装槽内,端盖与封装结构主体之间螺纹连接,抵压于其中一个固定件实现轴向固定和密封连接,端盖连接件与端盖螺纹连接,制造成本低,装配过程方便,稳定性高。
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