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公开(公告)号:CN116907719A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202311043338.0
申请日:2023-08-18
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L5/165
Abstract: 本发明提供了一种柔性三维力传感器,包括:沿着厚度方向由下至上依次设置的第一柔性电极、第一微结构介电层、第二柔性电极、第三柔性电极、第二微结构介电层和第四柔性电极;所述第一微结构介电层上阵列设置有半球状的凸起,所述第二微结构介电层上阵列设置有四棱锥状的凸起。在受到不同方向的压力时,两个介电层的微结构会产生不同的形变,并通过电容变化反应压力大小和方向。由于两个传感模块具有不同的微结构,因此当施加同个压力时两个传感模块的电容变化的响应也不同,可通过两个电容变化求解压力大小及方向。因为压力大小及方向与两个电容的变化量非线性相关,难以建立数学模型,所以采用神经网络辅助学习方法建立对应关系,并基于两个电容变化的输入预测对应的压力大小及方向,可有效简化三维压力传感器的布线及信号传输。