公开(公告)号：CN109319788B

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：CN201811221446.1

申请日：2018-10-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  张尧昊 ,  黄柳青 ,  赖惠先 ,  李锦堂

IPC: C01B33/037 ,  C30B28/06 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明属于多晶硅提纯领域，公开了一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法，包括：1)将待提纯硅粉放入20～35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1～2h，过滤、水洗、过滤、烘干；2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中，往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703～1783℃后保温1～10h，冷却至室温，得到硅铝钙合金；3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ进行酸洗；4)将酸洗产物进行定向凝固，退火，得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭；5)将二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20～40％。本发明对于多晶硅中的杂质，特别是磷杂质，具有很好的去除效果，从而得到高纯度多晶硅。

公开(公告)号：CN109319788A

公开(公告)日：2019-02-12

申请号：CN201811221446.1

申请日：2018-10-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  张尧昊 ,  黄柳青 ,  赖惠先 ,  李锦堂

IPC: C01B33/037 ,  C30B28/06 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明属于多晶硅提纯领域，公开了一种采用硅铝钙合金精炼及定向凝固制备多晶硅的方法，包括：1)将待提纯硅粉放入20～35℃的氢氟酸和过氧化氢的混合液中浸泡1～2h，过滤、水洗、过滤、烘干；2)将步骤1)得到的粗提硅粉与金属铝和金属钙放入感应熔炼炉中，往炉体中通入惰性气体并使炉内温度升至1703～1783℃后保温1～10h，冷却至室温，得到硅铝钙合金；3)将步骤2)得到的硅铝钙合金研磨成粉之后依次采用混合酸Ⅰ和混合酸Ⅱ进行酸洗；4)将酸洗产物进行定向凝固，退火，得到二次精炼后的硅铝钙合金铸锭；5)将二次精炼后的硅铝钙合金铸锭切去头部的20～40％。本发明对于多晶硅中的杂质，特别是磷杂质，具有很好的去除效果，从而得到高纯度多晶硅。