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公开(公告)号:CN114314569A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202210021236.8
申请日:2022-01-10
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B32/184 , C01B32/186
Abstract: 本发明提供一种在基体上形成石墨烯膜的方法,所述基体包括碳化硅部分;所述方法包括:在真空、惰性气氛或还原性气氛中,对所述碳化硅部分的至少部分区域进行加热,所述加热具有以下温度程序:(i)以500℃/s以上的升温速率,将被加热区域从第一温度加热到1400‑2700℃的目标温度;(ii)在所述目标温度下的保持0‑60s;(iii)以500℃/s以上的降温速率,将被加热区域从所述目标温度冷却至第二温度。
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公开(公告)号:CN114314569B
公开(公告)日:2024-01-09
申请号:CN202210021236.8
申请日:2022-01-10
Applicant: 厦门大学
IPC: C01B32/184 , C01B32/186
Abstract: 本发明提供一种在基体上形成石墨烯膜的方法,所述基体包括碳化硅部分;所述方法包括:在真空、惰性气氛或还原性气氛中,对所述碳化硅部分的至少部分区域进行加热,所述加热具有以下温度程序:(i)以500℃/s以上的升温速率,将被加热区域从第一温度加热到1400‑2700℃的目标温度;(ii)在所述目标温度下的保持0‑60s;(iii)以500℃/s以上的降温速率,将被加热区域从所述目标温度冷却至第二温度。
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公开(公告)号:CN115728261B
公开(公告)日:2025-02-11
申请号:CN202110996148.5
申请日:2021-08-27
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本公开提供一种光学微纳天线探针、探针组件、纳米红外光谱仪及散射型扫描近场光学显微镜。该光学微纳天线探针包括针体和复合层,针体的至少部分表面被复合层覆盖;复合层包括层叠的第一针体覆盖层和第二针体覆盖层,第一针体覆盖层位于针体和第二针体覆盖层之间;第一针体覆盖层的材料包括光学介电材料;第二针体覆盖层的材料包括石墨烯。本公开的光学微纳天线探针可作为纳米红外光谱探针,用于纳米红外光谱仪;亦可作为散射型近场光学显微镜探针,用于近场光学成像。本公开的光学微纳天线探针可以是增强纳米红外光谱和近场光学成像检测灵敏度的扫描探针显微镜探针。
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公开(公告)号:CN115728261A
公开(公告)日:2023-03-03
申请号:CN202110996148.5
申请日:2021-08-27
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本公开提供一种光学微纳天线探针、探针组件、纳米红外光谱仪及散射型扫描近场光学显微镜。该光学微纳天线探针包括针体和复合层,针体的至少部分表面被复合层覆盖;复合层包括层叠的第一针体覆盖层和第二针体覆盖层,第一针体覆盖层位于针体和第二针体覆盖层之间;第一针体覆盖层的材料包括光学介电材料;第二针体覆盖层的材料包括石墨烯。本公开的光学微纳天线探针可作为纳米红外光谱探针,用于纳米红外光谱仪;亦可作为散射型近场光学显微镜探针,用于近场光学成像。本公开的光学微纳天线探针可以是增强纳米红外光谱和近场光学成像检测灵敏度的扫描探针显微镜探针。
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