公开(公告)号：CN119546012A

公开(公告)日：2025-02-28

申请号：CN202411610705.5

申请日：2024-11-12

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  康闻宇 ,  姜伟 ,  康俊勇

IPC: H10H20/854 ,  H10H20/853 ,  H10H20/855 ,  H10H20/85 ,  H10H20/01

Abstract: 本发明提供一种深紫外LED封装结构及其制备方法，其中封装结构包括：三维陶瓷基板，具有凹槽，所述的凹槽具有底部、内侧壁和上表面；深紫外LED芯片，安装在所述三维陶瓷基板的凹槽底部；氟树脂，填充在三维陶瓷基板的凹槽内，并且覆盖在所述的深紫外LED芯片的上表面和侧壁周围，所述的氟树脂为羧基化的氟树脂；光学透镜，安装在深紫外LED芯片和氟树脂之上，并且边缘固定于三维陶瓷基板的上表面上或者侧壁上。通过使用氟树脂和光学透镜来辅助实现光子的提取和汇聚，提升器件在紫外灭活等领域的应用效果，并通过氟树脂的粘附性，提升封装结构的可靠性，并同时提升出光效率和降低成本。

公开(公告)号：CN118955140A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202410878072.X

申请日：2024-07-02

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  李文翔 ,  姜伟 ,  康闻宇 ,  康俊勇

IPC: C04B35/56 ,  C04B35/622 ,  C04B41/87

Abstract: 本申请提供了一种用于制备致密碳化钽涂层的浆料和烧结方法，浆料为将碳化钽粉末、烧结助剂、粘接剂与有机溶剂按照一定质量分数混合，然后用球磨仪混合悬浊液，形成悬浮液；烧结方法为先将浆料均匀涂覆在石墨件表面，再对涂层进行干燥固化，最后将覆有涂层的石墨件进行烧结。本发明的目的在于以碳化钽粉末和烧结助剂为主体，通过优化的混合溶剂，调配出悬浮稳定性好、固含量高、流动性强、涂覆成膜质量高，涂层经烧结后不龟裂的高质量碳化钽涂层浆料。该方法调配出来的浆料与烧结工艺更加简单，且调配出来的浆料在后续烧结过程中不涉及化学反应，可以避免化学反应过程中副产物产生，制备出来的碳化钽涂层纯度更高、薄膜结晶致密平整。

公开(公告)号：CN116864441A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202310637668.6

申请日：2023-05-31

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  张爱忠 ,  康闻宇 ,  姜伟 ,  康俊勇

IPC: H01L21/687

Abstract: 本申请公开了一种气浮基座及外延设备的反应室结构，包括固定基座和支承件，固定基座上形成有旋转槽，支承件可转动地设置在所述旋转槽中，支承件用于承载晶圆或晶圆托盘，支承件底部形成一个同心环状凹陷，环状凹陷内形成有沿圆周均匀分布的凸起，凸起呈V字型，以对驱动气体向支承件切线方向导流，限制驱动气体沿支承件半径方向的流动，减小驱动气体对支承件产生的沿半径方向的压力，从而增大驱动气体对支承件产生的沿切线方向的力，提高了驱动气体的利用率和驱动效率。驱动气体直接对凸起结构施加压力驱动支承件旋转，与只靠粘滞力驱动相比，大大提高了驱动力的大小，提高了支承件的转速。本发明还提供一种半导体外延设备。

公开(公告)号：CN119694461A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411767993.5

申请日：2024-12-04

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  叶晓芳 ,  康闻宇 ,  姜伟 ,  康俊勇

IPC: G16C60/00 ,  G16C20/30 ,  G16C20/70 ,  G16C20/80 ,  G06T7/00 ,  G06V10/82 ,  G06V10/764 ,  G06N3/045 ,  G06N3/0464

Abstract: 本发明涉及半导体材料加工技术领域，具体涉及一种晶体切割方法、装置及存储介质，该方法包括：获取晶体内部的断层图像；基于所述断层图像，构建三维重构模型；采用已训练神经网络识别所述断层图像中不同类型的缺陷，得到缺陷类别；基于所述缺陷类别和所述三维重构模型，创建所述晶体匹配的数字孪生管理模型；对所述数字孪生管理模型进行仿真预切割，得到仿真预切割结果；基于所述仿真预切割结果，确定所述晶体的切割参数。该方法通过较为精准的仿真预切割结果，构建晶体的切割参数，从而能够更加高效的切割晶体，减少晶体耗材的浪费。

公开(公告)号：CN119560232A

公开(公告)日：2025-03-04

申请号：CN202411746990.3

申请日：2024-12-02

Applicant: 厦门大学

Inventor： 姜伟 ,  吴雅苹 ,  尹君 ,  康闻宇 ,  康俊勇

IPC: H01B13/00 ,  H01B5/14 ,  H10H20/833

Abstract: 本发明公开了一种透明电极膜的制备方法、透明电极膜及其应用，涉及导电薄膜领域，以此堆叠的基片、透明晶体薄层和若干间隔设置的金属薄层；通过金属薄层施加电压，使透明晶体金属薄层击穿，形成细线状导电通道；通过退火处理，使金属薄层中的金属原子扩散进入细丝状导电通道中，形成导电纤维；将剩下的金属薄层去除，形成透明电极膜。其中，基片为紫外LED、探测器或者太阳能电池的外延片；透明晶体薄层为AlN、GaN、AlxGa（1‑x）N、Al2O3或者TiO2等，金属薄层为Au、Ag、Ti、Cu、或者Al。其兼具高导电性和高透明性，结构简单，易于大规模生产。作为紫外光电器件的关键部分，其能够提高器件的光电转换效率，可应用于柔性电子、透明智能器件等诸多领域。

公开(公告)号：CN118207621A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202410165143.1

申请日：2024-02-05

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  张爱忠 ,  康闻宇 ,  姜伟 ,  康俊勇

IPC: C30B25/10 ,  C30B25/16

Abstract: 本发明提供一种多腔室外延反应器，包括感应线圈、石英管和石墨加热件，感应线圈围设于所述石英管周侧；石墨加热件内具有一个及以上个反应腔，每个反应腔内设置一个托盘，托盘用于承载晶圆。本申请中石墨加热件呈哑铃形状，减小了加热石墨加热件的体积，石墨加热件各部分产生的热量得到充分地利用，减少了电能的消耗，有利于节约资源降低加热成本；石墨加热件的特殊结构结合旋转托盘，降低了片间和片内的温差，提高了温度分布的均匀性，促进外延层生长速率的均匀性、外延层厚度和掺杂浓度分布的均匀性，有利于提高外延层的质量；多个反应腔设置，提高了产能。

公开(公告)号：CN116465912A

公开(公告)日：2023-07-21

申请号：CN202310175668.9

申请日：2023-02-28

Applicant: 厦门大学

Inventor： 尹君 ,  叶晓芳 ,  康闻宇 ,  姜伟 ,  康俊勇

IPC: G01N23/046

Abstract: 本发明公开了一种碳化硅晶体质量的快速无损检测方法，将碳化硅晶体置于计算机层析扫描(CT)的载物台上，通过特定参数下的计算机层析扫描结合图像衬度，以及形貌特征的鉴别，可对碳化硅晶体内典型缺陷实现快速无损地检测，直接获取被测晶锭不同断层存在的缺陷形貌、密度分布，以及缺陷随生长过程的演化情况，可显著提高碳化硅晶体缺陷的可视化程度，无需特殊制样便可较为简便快速地分析晶体的质量。