公开(公告)号：CN114182231A

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202111436122.1

申请日：2021-11-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 李静 ,  刘兴宜 ,  尹君

IPC: C23C16/34 ,  C23C14/35 ,  C23C16/02 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种基于衬底处理的六方氮化硼薄膜制备方法，包括如下步骤：步骤一.重构金属衬底：(1)制备溶液一；金属衬底接入正极，浸入配制好的溶液一中，电压3～8V，时间10‑20s，随后取出，用去离子水清洗，吹干；(2)将去离子水和DMF以1:10‑15的体积比混合，并加入甲酸盐，甲酸盐为150‑340mg/mL水，充分搅拌后，滴入油胺，油胺与水的体积比为1‑2:1‑2；充分混合后得到溶液二，将步骤(1)中获得的金属衬底在溶液二中处理；步骤二.在重构后的金属衬底上生长六方氮化硼薄膜。本发明能够减少氮化硼缺陷。

公开(公告)号：CN114182231B

公开(公告)日：2023-01-24

申请号：CN202111436122.1

申请日：2021-11-29

Applicant: 厦门大学

Inventor： 李静 ,  刘兴宜 ,  尹君

IPC: C23C16/34 ,  C23C14/35 ,  C23C16/02 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明公开了一种基于衬底处理的六方氮化硼薄膜制备方法，包括如下步骤：步骤一.重构金属衬底：(1)制备溶液一；金属衬底接入正极，浸入配制好的溶液一中，电压3～8V，时间10‑20s，随后取出，用去离子水清洗，吹干；(2)将去离子水和DMF以1:10‑15的体积比混合，并加入甲酸盐，甲酸盐为150‑340mg/mL水，充分搅拌后，滴入油胺，油胺与水的体积比为1‑2:1‑2；充分混合后得到溶液二，将步骤(1)中获得的金属衬底在溶液二中处理；步骤二.在重构后的金属衬底上生长六方氮化硼薄膜。本发明能够减少氮化硼缺陷。