公开(公告)号：CN104340948B

公开(公告)日：2018-02-27

申请号：CN201410364783.1

申请日：2014-07-28

Applicant: 原子能和替代能源委员会

Inventor： 格扎维埃·白琳 ,  伯纳德·迪埃姆 ,  简-菲利普·波利齐 ,  安德烈·罗扎德

IPC: B81B7/02

CPC classification number: B81B7/0058 ,  B81B7/0038 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/0228 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00285 ,  B81C1/00301 ,  B81C1/00682 ,  B81C2201/053 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0163 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225

Abstract: 本发明涉及一种包括机械加强盖并且具有吸气效应的封装结构。一种用于封装至少一个微型装置(104)的结构(100)，所述至少一个微型装置(104)被制造在基底(102)上和/或基底(102)中并且被定位在至少一个在所述基底和刚性地附接到所述基底上的盖(106)之间形成的腔(110)中，其中，所述盖至少包括：一层第一材料层(112)，所述第一材料层(112)的一个表面(114)形成了所述腔的内壁，以及刚性地附接到所述第一材料层的至少所述表面上的机械加强部分(116)，所述机械加强部分(116)部分地覆盖所述第一材料层的所述表面并且具有气体吸收和/或吸附性能，并且其中，所述机械加强部分的第二材料的杨氏模量高于所述第一材料的杨氏模量。

公开(公告)号：CN104340948A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410364783.1

申请日：2014-07-28

Applicant: 原子能和替代能源委员会

Inventor： 格扎维埃·白琳 ,  伯纳德·迪埃姆 ,  简-菲利普·波利齐 ,  安德烈·罗扎德

IPC: B81B7/02

CPC classification number: B81B7/0058 ,  B81B7/0038 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/0228 ,  B81B2207/096 ,  B81C1/00285 ,  B81C1/00301 ,  B81C1/00682 ,  B81C2201/053 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0163 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16225

Abstract: 本发明涉及一种包括机械加强盖并且具有吸气效应的封装结构。一种用于封装至少一个微型装置(104)的结构(100)，所述至少一个微型装置(104)被制造在基底(102)上和/或基底(102)中并且被定位在至少一个在所述基底和刚性地附接到所述基底上的盖(106)之间形成的腔(110)中，其中，所述盖至少包括：一层第一材料层(112)，所述第一材料层(112)的一个表面(114)形成了所述腔的内壁，以及刚性地附接到所述第一材料层的至少所述表面上的机械加强部分(116)，所述机械加强部分(116)部分地覆盖所述第一材料层的所述表面并且具有气体吸收和/或吸附性能，并且其中，所述机械加强部分的第二材料的杨氏模量高于所述第一材料的杨氏模量。