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公开(公告)号：CN109478574B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN201780031155.3
申请日：2017-05-18
Applicant: 卢森堡大学
IPC: H01L31/0224 , C23C16/40 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜，其包括覆盖有ZnO覆盖物的名义上未掺杂的导电ZnO基层。ZnO基层具有择优晶体取向，而ZnO覆盖物包括一个或多个ZnO子层，其中至少一个具有晶体学上随机取向或无定形结构或不同于基层的择优晶体取向的择优晶体取向。本发明还涉及这样的透明导电膜的制造方法。
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公开(公告)号：CN109478574A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780031155.3
申请日：2017-05-18
Applicant: 卢森堡大学
IPC: H01L31/0224 , C23C16/40 , H01L31/18
Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜，其包括覆盖有ZnO覆盖物的名义上未掺杂的导电ZnO基层。ZnO基层具有择优晶体取向，而ZnO覆盖物包括一个或多个ZnO子层，其中至少一个具有晶体学上随机取向或无定形结构或不同于基层的择优晶体取向的择优晶体取向。本发明还涉及这样的透明导电膜的制造方法。
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公开(公告)号：CN102439467B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201080018738.0
申请日：2010-04-27
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/14
Abstract: 本发明涉及一种用于测试在生产中的大面积半导体器件的电气及/或光电子表征方法，该方法包括下述步骤：提供第一电极并将其设置成与半导体器件的导电层的接触区域电接触；提供可移动的电极组件，其包括保持电解质溶液和至少第二电极的容器，将所述第二电极浸没到所述电解质溶液中；放置电极组件使得电解质溶液设置成让第二电极与半导体器件的上表面电接触；在进行电气测量的同时，相对于半导体器件的上表面扫描所述可移动的电极组件。还涉及相应的电气及/或光电子表征装置，包括第一电极、具有容器的可移动电极组件以及扫描装置，其中所述容器保持电解质溶液和浸没在其中的第二电极。
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公开(公告)号：CN102439467A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201080018738.0
申请日：2010-04-27
CPC classification number: H01L22/14
Abstract: 本发明涉及一种用于测试在生产中的大面积半导体器件的电气及/或光电子表征方法，该方法包括下述步骤：提供第一电极并将其设置成与半导体器件的导电层的接触区域电接触；提供可移动的电极组件，其包括保持电解质溶液和至少第二电极的容器，将所述第二电极浸没到所述电解质溶液中；放置电极组件使得电解质溶液设置成让第二电极与半导体器件的上表面电接触；在进行电气测量的同时，相对于半导体器件的上表面扫描所述可移动的电极组件。还涉及相应的电气及/或光电子表征装置，包括第一电极、具有容器的可移动电极组件以及扫描装置，其中所述容器保持电解质溶液和浸没在其中的第二电极。
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