公开(公告)号：CN109478574B

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN201780031155.3

申请日：2017-05-18

Applicant: 卢森堡大学

Inventor： 梅特·哈拉 ,  苏珊娜·西奔特力特 ,  菲利普·戴尔

IPC: H01L31/0224 ,  C23C16/40 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜，其包括覆盖有ZnO覆盖物的名义上未掺杂的导电ZnO基层。ZnO基层具有择优晶体取向，而ZnO覆盖物包括一个或多个ZnO子层，其中至少一个具有晶体学上随机取向或无定形结构或不同于基层的择优晶体取向的择优晶体取向。本发明还涉及这样的透明导电膜的制造方法。

公开(公告)号：CN109478574A

公开(公告)日：2019-03-15

申请号：CN201780031155.3

申请日：2017-05-18

Applicant: 卢森堡大学

Inventor： 梅特·哈拉 ,  苏珊娜·西奔特力特 ,  菲利普·戴尔

IPC: H01L31/0224 ,  C23C16/40 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明涉及一种透明导电膜，其包括覆盖有ZnO覆盖物的名义上未掺杂的导电ZnO基层。ZnO基层具有择优晶体取向，而ZnO覆盖物包括一个或多个ZnO子层，其中至少一个具有晶体学上随机取向或无定形结构或不同于基层的择优晶体取向的择优晶体取向。本发明还涉及这样的透明导电膜的制造方法。