公开(公告)号：CN1627114A

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：CN200410100578.0

申请日：2004-11-12

Applicant: 卡尔蔡司SMT股份公司

Inventor： J·劳 ,  M·马尔曼

IPC: G02B7/02 ,  G02B13/22 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/7095 ,  G02B7/008 ,  G02B7/028 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70891

Abstract: 一种光学系统的法兰组件(1)，具有第一法兰(2)，补偿元件(4)以及第二法兰(2’)。法兰(2，2’)和补偿元件(4)基本轴向对称，两个法兰(2，2’)适用于以非破坏性和非正轴向可分离的方式连接到光学系统的其他元件(10，11)，两个法兰(2，2’)由具有不同线性热膨胀系数的不同材料组成，补偿元件(4)是径向软性的但在法兰的相对空间位置刚性连接两个法兰(2，2’)。