公开(公告)号：CN101297243B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN200680028253.3

申请日：2006-05-23

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： 海科·费尔德曼 ,  丹尼尔·克雷默 ,  让-克洛德·佩林 ,  朱利安·卡勒 ,  奥雷利安·多多克 ,  弗拉基米尔·卡梅诺夫 ,  奥拉夫·康拉迪 ,  托拉夫·格鲁纳 ,  托马斯·奥孔 ,  亚历山大·埃普勒

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70225 ,  G02B17/08 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70283 ,  G03F7/70941

Abstract: 对于一种用于将布置在物平面的图案成像到像平面的微光刻投影物镜，相对于抑制这种投影物镜中的虚光进行了描述。