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发明公开
带电粒子束装置的扰动补偿审中-公开

公开(公告)号：CN119948594A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202380068713.9

申请日：2023-09-25

Applicant: 卡尔蔡司MultiSEM有限责任公司 , 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： B·辛德勒 , L·哈姆森 , M·海柏林 , D·施瓦茨 , S·鲍灵 , M·格内德尔 , D·A·埃姆里奇 , S·克拉曼特

IPC: H01J37/317 , H01J37/26 , H01J37/302 , H01J37/304

Abstract: 带电粒子束装置(例如用于修复任务)会受到扰动。例如，在执行用于修复光刻掩模上缺陷的操纵模式时，使用一或多个传感器的传感器输出来补偿所述扰动。

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