公开(公告)号：CN116682755A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310486576.2

申请日：2023-05-04

Applicant: 谷微半导体科技(江苏)有限公司 ,  南通大学

Inventor： 黄维 ,  姚建南 ,  张旭东 ,  邵建新 ,  李建国

IPC: H01L21/67 ,  B08B3/10 ,  B08B3/08 ,  B08B3/02

Abstract: 本发明公开了一种晶圆旋转喷淋去胶机，包括机架，还包括供液系统，设置在机架内，用于储存、并为晶圆清洗提供清洗液；晶圆清洗系统，设置在机架一侧，用于放置晶圆，并对晶圆进行旋转喷淋清洗；清洗液传输系统，设置在机架内且连通供液系统和晶圆清洗系统，用于传输清洗液；气体传输系统，设置在机架内，连通至晶圆清洗系统，用于为晶圆清洗系统提供清洗气体；PLC控制系统，设置在机架面板上，用于控制晶圆清洗过程，本发明通过供液系统和清洗液传输系统的配合，具有可靠的清洗液传输，减少了清洗液的浪费和污染的风险，从而提高了清洗液的利用率，确保了晶圆清洗的稳定性和可靠性。

公开(公告)号：CN105618951B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201610006838.0

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 华亮 ,  顾菊平 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K31/12

Abstract: 本发明公开了一种“四点定位法”的焊缝智能跟踪系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN104384734A

公开(公告)日：2015-03-04

申请号：CN201410670000.2

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 华亮 ,  顾菊平 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K31/00 ,  B23K9/127 ,  B23K9/02

CPC classification number: B23K31/003 ,  C21D10/00

Abstract: 本发明公开了一种全自动焊后焊缝跟踪及超声冲击系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN105618951A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201610006838.0

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 华亮 ,  顾菊平 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K31/12

Abstract: 本发明公开了一种“四点定位法”的焊缝智能跟踪系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN105458483B

公开(公告)日：2017-09-12

申请号：CN201610006491.X

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 顾菊平 ,  华亮 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K9/32 ,  B23K9/02 ,  B23K9/127 ,  C21D10/00 ,  C21D11/00 ,  C21D9/50

Abstract: 本发明公开了一种焊后焊缝跟踪机器人自动纠偏及超声冲击系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN105868163A

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201610173971.5

申请日：2016-03-24

Applicant: 南通大学

Inventor： 李俊红 ,  杨奕 ,  朱建红 ,  李晨 ,  杨赛 ,  张晴 ,  李建国

IPC: G06F17/17

CPC classification number: G06F17/17

Abstract: 本发明公开了一种多变量差分方程模型的极大似然递推最小二乘辨识算法，包括根据现有极大似然原理，构建出一种多变量差分方程模型中子系统极大似然准则函数；以多变量差分方程模型中子系统最大似然准则函数为基础，构建出多变量差分方程模型的极大似然递推最小二乘辨识算法的实现流程；构建一套多变量差分方程模型的极大似然递推最小二乘辨识算法。本发明采用极大似然原理和递推辨识方法，应用于线性多变量系统的参数估计。

公开(公告)号：CN105458483A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201610006491.X

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 顾菊平 ,  华亮 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K9/32 ,  B23K9/02 ,  B23K9/127 ,  C21D10/00 ,  C21D11/00 ,  C21D9/50

CPC classification number: B23K9/32 ,  B23K9/02 ,  B23K9/127 ,  C21D9/50 ,  C21D10/00 ,  C21D11/00

Abstract: 本发明公开了一种焊后焊缝跟踪机器人自动纠偏及超声冲击系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN104384734B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201410670000.2

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 华亮 ,  顾菊平 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K31/00 ,  B23K9/127 ,  B23K9/02

Abstract: 本发明公开了一种全自动焊后焊缝跟踪及超声冲击系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本发明结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。

公开(公告)号：CN204234993U

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201420703416.5

申请日：2014-11-20

Applicant: 南通大学

Inventor： 华亮 ,  顾菊平 ,  唐子峻 ,  罗来武 ,  张新松 ,  张晴 ,  蒋凌 ,  华俊豪 ,  姜晓栋 ,  李建国 ,  倪海雪

IPC: B23K37/00 ,  B23P25/00

Abstract: 本实用新型公开了一种随焊超声冲击机器人智能测控系统，由移动式焊接设备、超声波冲击系统、步进电机、控制器、Zibee无线通讯模块、反光片、测距传感器组成。能够实时感测超声波冲击系统作业末端与焊后焊缝的偏差，并实现实时纠偏，实现超声波冲击头对已焊焊缝的准确冲击，以消除焊接应力。本实用新型结构简单、自动化程度高、焊后焊缝跟踪精度高。