一种碳化硅打磨用附加物收集设备

    公开(公告)号:CN117506733A

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311752785.3

    申请日:2023-12-19

    Applicant: 南通大学

    Inventor: 张恬 杨培培

    Abstract: 本发明涉及碳化硅加工技术领域,具体公开了一种碳化硅打磨用附加物收集设备,包括加工基台,加工基台上端后侧连接有附加物推动模块,加工基台中段部位阵列开设有微粉附加物导出口,通过微粉物承接模块以及颗粒物承接模块,对碳化硅打磨加工时产生的附加物进行收集处理,从而解决附加物无法快速收集而污染加工基台台面,以及微粉状附加物飞散在工作环境中的问题;在使用颗粒物承接模块对大颗粒状的附加物进行收集时,推动板件的左右平移,能够将加工基台上附着的微粉状以及颗粒状附加物推动,并在经过微粉附加物导出口时,使微粉状附加物被吸附收集,解决微粉状附加物收集吸附不彻底的问题。

Patent Agency Ranking