公开(公告)号：CN109065466A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201810899285.5

申请日：2018-08-08

Applicant: 南通大学

Inventor： 李祥彪 ,  杨培培 ,  崔俊 ,  黄云婷 ,  姚诗怡 ,  苏延东 ,  陈宇

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12

Abstract: 本发明涉及一种p型碳化硅晶体的无损判定，使用变温拉曼光谱，对p型碳化硅晶体样品进行光谱测量，探测光的入射方向为沿碳化硅晶片的（000‑1）方向，变温测量为室温到800K温度范围，温度间隔为50K。分析对比载流子敏感的A1纵向光学模，根据其强度及峰位的变化，可以判断样品是否为p型掺杂。有益效果是采用基于光谱分析法，对p型碳化硅晶体的载流子浓度进行检测和分析，无需像霍尔测量一样的镀电极，对待测样品无损伤，检测过程可实现自动化和程序控制，可对出厂产品进行全面检验，也可应用于目前市场存在的2、3、4、6英寸完整晶圆产品检验。