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公开(公告)号：CN118980322B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202411455340.3
申请日：2024-10-18
Applicant: 南昌大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超振荡光场实现紧凑型纳米级位移计量的方法，包括：将入射径向偏振光照射到超振荡透镜产生超振荡纳米尺度光场；超振荡纳米尺度光场与硅散射体相互作用产生散射光；将散射体沿不同方向的纳米尺度位移，每移动一次，CCD相机收集一次前向散射光场；利用超振荡纳米尺度光场的散射信号探测纳米尺度散射体的位移情况。本发明的装置不依赖于大尺寸的物镜，超振荡透镜具有微米级轻薄厚度，同时可产生超越衍射极限的光斑，具有较优的集成能力和探测精度；引入方向性指数参数IDX和IDY与散射体实际进行的纳米尺度位移进行参数化建模，使得散射体的位移情况得到重建，对工业生产检验纳米微器件是否偏离预定安装位置具有重大应用价值。
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公开(公告)号：CN118980322A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202411455340.3
申请日：2024-10-18
Applicant: 南昌大学
Abstract: 本发明公开了一种基于超振荡光场实现紧凑型纳米级位移计量的方法，包括：将入射径向偏振光照射到超振荡透镜产生超振荡纳米尺度光场；超振荡纳米尺度光场与硅散射体相互作用产生散射光；将散射体沿不同方向的纳米尺度位移，每移动一次，CCD相机收集一次前向散射光场；利用超振荡纳米尺度光场的散射信号探测纳米尺度散射体的位移情况。本发明的装置不依赖于大尺寸的物镜，超振荡透镜具有微米级轻薄厚度，同时可产生超越衍射极限的光斑，具有较优的集成能力和探测精度；引入方向性指数参数IDX和IDY与散射体实际进行的纳米尺度位移进行参数化建模，使得散射体的位移情况得到重建，对工业生产检验纳米微器件是否偏离预定安装位置具有重大应用价值。
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