公开(公告)号：CN113432732B

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202110614585.6

申请日：2021-06-02

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 王钊 ,  郭伟杰

IPC: G01J11/00

Abstract: 本申请实施例提供一种超导探测器，所述超导探测器包括：衬底，以及设置于所述衬底上的介质层；超导线结构，包括多层堆叠设置的超导线层，每层所述超导线层由一根超导线在同一平面内形成，相邻的两层所述超导线层交错排布，相邻的两层所述超导线层之间通过所述介质层隔开。本申请实现了提高光敏区有效面积，降低光纤对准难度。

公开(公告)号：CN113432732A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110614585.6

申请日：2021-06-02

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 王钊 ,  郭伟杰

IPC: G01J11/00

Abstract: 本申请实施例提供一种超导探测器，所述超导探测器包括：衬底，以及设置于所述衬底上的介质层；超导线结构，包括多层堆叠设置的超导线层，每层所述超导线层由一根超导线在同一平面内形成，相邻的两层所述超导线层交错排布，相邻的两层所述超导线层之间通过所述介质层隔开。本申请实现了提高光敏区有效面积，降低光纤对准难度。

公开(公告)号：CN115389032A

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202211048508.X

申请日：2022-08-29

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 王钊 ,  郭伟杰 ,  俞大鹏

IPC: G01J11/00

Abstract: 本申请公开一种超导探测单元、超导探测器及超导探测系统，涉及超导探测的技术领域。该超导探测单元，包括电感、第一电容和衬底。电感用于接收待探测光信号，产生电信号；第一电容包括第一电极、第二电极；衬底上设置有凹槽，在衬底设置有凹槽的表面设置有第二电极，第二电极在凹槽处向下凹陷，第二电极覆盖在凹槽的内表面，第二电极上设置有电介质层，电介质层上覆盖有第一电极，第一电极和第二电极分别与电感连接，电感位于衬底的上表面。由于将第一电容设置在凹槽内，使第一电容在衬底上占据的面积更小，降低了单个超导探测单元的面积，在同样面积的超导探测器阵列中，能布置更多的超导探测单元，提高了超导探测的分辨率，从而提高成像分辨率。

公开(公告)号：CN219464174U

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202223362583.1

申请日：2022-12-14

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 王浩宇 ,  贾浩 ,  郭伟杰

IPC: B08B3/02 ,  B08B13/00 ,  H01L21/67

Abstract: 本实用新型属于微纳器件加工设备技术领域,公开了一种光刻胶旋涂后的基片背部除胶机，包括：装片箱体；供电组件，所述供电组件设在所述装片箱体内；基片固定组件，所述基片固定组件设在所述装片箱体内；清洗液箱体，所述清洗液箱体设在所述装片箱体外侧壁；以及清洗枪，所述清洗枪通过电缆与供电组件电连接，所述电缆穿设在所述装片箱体上；其中，所述清洗枪上设置有清洗头，所述清洗枪用于驱动所述清洗头。本实用新型通过基片固定组件固定待清洗基片，并通过清洗枪旋转清洗头来清洗基片背面边缘位置的光刻胶。解决了传统纯人工清洗基片过程中擦拭不干净，容易污染和破坏基片的涂胶区域，甚至摔坏基片的技术问题。