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公开(公告)号：CN115452236A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202210965074.3
申请日：2022-08-12
Applicant: 南方科技大学
IPC: G01L9/00
Abstract: 本发明公开了一种真空压强测量装置、方法及系统，真空压强测量装置包括：用于模拟应用场景气压环境的腔体、设置在腔体内的真空压强传感器以及与真空压强传感器连接的电信号测量仪；真空压强传感器包括：基板，与电信号测量仪连接；发光元件，与基板连接，用于产生光；收光元件，与基板连接，用接收发光元件发射的光并产生电信号；气泡膜，包覆在发光元件与收光元件上，用于对发光元件发射的光进行反射；电信号测量仪用于对收光元件产生的电信号进行检测；根据电信号测量仪测得的电信号的变化量可测算腔体内的气压强度。本发明可直接从电信号的变化量读取出压强的变化，无需数据分析处理过程，不仅测量方式更加简单，且响应快。
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