公开(公告)号：CN115452236A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202210965074.3

申请日：2022-08-12

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 李携曦 ,  耿璠 ,  喻彬璐

IPC: G01L9/00

Abstract: 本发明公开了一种真空压强测量装置、方法及系统，真空压强测量装置包括：用于模拟应用场景气压环境的腔体、设置在腔体内的真空压强传感器以及与真空压强传感器连接的电信号测量仪；真空压强传感器包括：基板，与电信号测量仪连接；发光元件，与基板连接，用于产生光；收光元件，与基板连接，用接收发光元件发射的光并产生电信号；气泡膜，包覆在发光元件与收光元件上，用于对发光元件发射的光进行反射；电信号测量仪用于对收光元件产生的电信号进行检测；根据电信号测量仪测得的电信号的变化量可测算腔体内的气压强度。本发明可直接从电信号的变化量读取出压强的变化，无需数据分析处理过程，不仅测量方式更加简单，且响应快。

公开(公告)号：CN115235534A

公开(公告)日：2022-10-25

申请号：CN202210630170.2

申请日：2022-06-06

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 李携曦 ,  喻彬璐 ,  李静

IPC: G01D21/02

Abstract: 本发明公开了一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法，微型传感器包括：印制电路板；氮化镓光芯片，所述氮化镓光芯片设置在所述印制电路板上，用于发射光信号以及将光信号转换为光电流信号，并在光信号发生变化时输出相应的光电流信号；高分子薄膜，所述高分子薄膜设置在所述氮化镓光芯片上方，并与所述氮化镓光芯片形成一密闭腔体；其中，所述高分子薄膜的表面在受力时会产生变形。本发明中可实现对液体压力的检测以及实时监测液体介质是否受到污染。

公开(公告)号：CN113176300A

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN202110450325.X

申请日：2021-04-25

Applicant: 南方科技大学

Inventor： 李携曦 ,  喻彬璐 ,  罗雨萌 ,  陈亮

IPC: G01N27/00 ,  A61B5/08

Abstract: 本发明公开了一种基于人造蛋白石湿敏材料的光电湿度传感器，该湿度传感器由人造蛋白石湿敏材料和氮化镓(GaN)光电微芯片组成。人造蛋白石湿敏薄膜覆于GaN光电微芯片表面，GaN光电微芯片采用半导体工艺中的光刻、刻蚀、沉积等方式制备，芯片具备在低电耗下同时完成快速发射和接收光信号能力。本发明高效且成本低，湿度测试范围广，线性度好，灵敏度高，可以有效监测人体呼吸频率和呼吸之间气体湿度变化。