公开(公告)号：CN113571632A

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN202111109797.5

申请日：2021-09-23

Applicant: 南开大学

Inventor： 程雅慧 ,  李岩 ,  张瑞 ,  陈菲菲 ,  刁凌雪 ,  刘晖

IPC: H01L43/06 ,  H01L43/10 ,  H01L43/04 ,  H01L43/14 ,  C30B23/04 ,  C30B29/52 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供了一种反常霍尔元件及其制备方法，以在单晶MgO（100）上外延生长的Fe、Cr共掺杂的单晶Ni薄膜作为活性层材料，活性层形状为“十”字形，薄膜厚度为2nm~30 nm,采用离子束沉积法生长。本发明的微型反常霍尔元件具有较小的体积，较大的反常霍尔电阻率，较小的电阻率和功耗，较宽的工作温度范围，在磁电信号转换等领域有广泛的应用。

公开(公告)号：CN117230419A

公开(公告)日：2023-12-15

申请号：CN202311263678.4

申请日：2023-09-27

Applicant: 南开大学

Inventor： 程雅慧 ,  陈菲菲 ,  刘晖

IPC: C23C14/35 ,  C25B11/091 ,  C25B1/04 ,  C25B11/061 ,  C23C14/16 ,  C23C14/58 ,  C23C8/10

Abstract: 一种电解水产氢催化剂的制备方法及产品，所述制备方法步骤如下：1）固定衬底，固定Ni靶材；2）对磁控溅射沉积系统的真空腔室抽真空，使压强小于5×10‑5 Pa；3）向真空腔室中充入Ar气，充入Ar气的流量为2~5 sccm，保持腔室气压为0.8×10‑2 Pa~2.0×10‑2 Pa，进行预溅射；4）打开基片挡板，控制溅射时间为50 min~130 min，得到Ni薄膜样品；5）向真空腔室中充入纯度大于99.999%的高纯O2，充入O2的流量为2~5 sccm，持续时间为5 min~20 min，得到Ni基的电解水产氢催化剂。

公开(公告)号：CN113571632B

公开(公告)日：2021-12-10

申请号：CN202111109797.5

申请日：2021-09-23

Applicant: 南开大学

Inventor： 程雅慧 ,  李岩 ,  张瑞 ,  陈菲菲 ,  刁凌雪 ,  刘晖

IPC: H01L43/06 ,  H01L43/10 ,  H01L43/04 ,  H01L43/14 ,  C30B23/04 ,  C30B29/52 ,  C23C14/04 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明提供了一种反常霍尔元件及其制备方法，以在单晶MgO（100）上外延生长的Fe、Cr共掺杂的单晶Ni薄膜作为活性层材料，活性层形状为“十”字形，薄膜厚度为2nm~30 nm,采用离子束沉积法生长。本发明的微型反常霍尔元件具有较小的体积，较大的反常霍尔电阻率，较小的电阻率和功耗，较宽的工作温度范围，在磁电信号转换等领域有广泛的应用。