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公开(公告)号：CN1420570A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：CN02159248.9
申请日：2002-12-30
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/04
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明的名称是宽谱域低温叠层硅基薄膜太阳电池，涉及叠层电池结构的设计，属于太阳电池技术领域。一般的叠层电池或者光电转换效率低，或者工艺复杂，为此本发明在设计电池时，在第(1)个pin的N层与第2个pin电池的P层之间加一特殊增反射层，该增反射层只反射第1个pin电池吸收范围的光，透射第2个pin电池吸收范围的光，在第2个电池pin的N层与金属电极之间加另一个增反射层，负责反射第2个pin电池吸收范围的光，这样，可以提高电池的光电转换效率、减薄吸收层厚度，不容易发生光衰退，大大缩短制备时间，降低成本。
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公开(公告)号：CN1438358A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03103964.2
申请日：2003-02-13
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及生长硅基薄膜，尤其是在低温衬底上高速生长优质硅基薄膜的低成本技术，属于薄膜光伏电池与薄膜晶体管等光电子器件技术领域。本发明是克服常规生长硅基薄膜方法中或生长速率慢、或衬底温度高、或离子轰击严重等缺陷，整合其优点。方案是，硅烷等反应气体先经过热丝加热，再输运到施加超高频功率信号电极之间，只需施加较小功率的甚高频信号，使硅烷易充分分解，通过化学气相反应沉积成膜，降低了离子轰击，改善薄膜质量。本发明的有益效果：衬底温度低，便于采用玻璃、塑料等廉价衬底；离子轰击小，薄膜生长速度快(＞50A/s)、性能好；反应气体分解充分，节省原材料，提高生产效率，降低了生产成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1281779C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200410018611.5
申请日：2004-01-13
Applicant: 南开大学
IPC: C23C14/26
Abstract: 本发明涉及一种高温电加热器，特别是涉及一种适合高真空薄膜沉积室用的外热式高温加热器，可广泛应用于半导体薄膜、薄膜材料和器件技术领域.高温电加热器，它包括真空室体、热阱，耐高温直线电阻管式加热元件组成高密度加热元件阵列，并将其镶嵌入高导热金属散热块，在加热元件阵列与金属散热块间充填耐高温散热胶，以上加热组件通过耐高温散热胶和机械紧固机构与真空室加热阱的非真空侧紧密接触，以获得对真空室体受热面的均匀传热，并通过热辐射对与室体加热面平行的平面样品进行均匀传热，从而实现真空室内的大面积样品获得高度均匀的加热，提高了可达到的样品温度，并彻底避免了加热器对样品和真空室的污染。
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公开(公告)号：CN1273641C
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN03103964.2
申请日：2003-02-13
Applicant: 南开大学
Abstract: 本发明涉及生长硅基薄膜，尤其是在低温衬底上高速生长优质硅基薄膜的低成本技术，属于薄膜光伏电池与薄膜晶体管等光电子器件技术领域。本发明是克服常规生长硅基薄膜方法中或生长速率慢、或衬底温度高、或离子轰击严重等缺陷，整合其优点。方案是，硅烷等反应气体先经过热丝加热，再输运到施加超高频功率信号电极之间，只需施加较小功率的甚高频信号，使硅烷易充分分解，通过化学气相反应沉积成膜，降低了离子轰击，改善薄膜质量。本发明的有益效果：衬底温度低，便于采用玻璃、塑料等廉价衬底；离子轰击小，薄膜生长速度快(＞50A/s)、性能好；反应气体分解充分，节省原材料，提高生产效率，降低了生产成本。
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公开(公告)号：CN1557989A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN200410018611.5
申请日：2004-01-13
Applicant: 南开大学
IPC: C23C14/26
Abstract: 本发明涉及一种高温电加热器，特别是涉及一种适合高真空薄膜沉积室用的外热式高温加热器，可广泛应用于半导体薄膜、薄膜材料和器件技术领域。高温电加热器，它包括真空室体、热阱，耐高温直线电阻管式加热元件组成高密度加热元件阵列，并将其镶嵌入高导热金属散热块，在加热元件阵列与金属散热块间充填耐高温散热胶，以上加热组件通过耐高温散热胶和机械紧固机构与真空室加热阱的非真空侧紧密接触，以获得对真空室体受热面的均匀传热，并通过热辐射对与室体加热面平行的平面样品进行均匀传热，从而实现真空室内的大面积样品获得高度均匀的加热，提高了可达到的样品温度，并彻底避免了加热器对样品和真空室的污染。
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公开(公告)号：CN2593368Y
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN02294641.1
申请日：2002-12-30
Applicant: 南开大学
IPC: H01L31/06
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本实用新型的名称是宽谱域低温叠层硅基薄膜太阳电池，涉及叠层电池结构的设计，属于太阳电池技术领域。一般的叠层电池或者光电转换效率低，或者工艺复杂，为此本实用新型在设计电池时，在第(1)个pin的N层与第2个pin电池的P层之间加一特殊增反射层，该增反射层只反射第1个pin电池吸收范围的光，透射第2个pin电池吸收范围的光，在第2个电池pin的N层与金属电极之间加另一个增反射层，负责反射第2个pin电池吸收范围的光，这样，可以提高电池的光电转换效率、减薄吸收层厚度，不容易发生光衰退，大大缩短制备时间，降低成本。
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公开(公告)号：CN2714581Y
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200420028239.1
申请日：2004-01-13
Applicant: 南开大学
IPC: C23C14/26
Abstract: 本实用新型涉及一种高温电加热炉，特别是涉及一种适合高真空薄膜沉积室用的外热式高温加热炉，可广泛应用于半导体薄膜、薄膜材料和器件技术领域。高温电加热炉，它包括真空室体、热阱，耐高温直线电阻管式加热元件组成高密度加热元件阵列，并将其镶嵌入高导热金属散热块，在加热元件阵列与金属散热块间充填耐高温散热胶，以上加热组件通过耐高温散热胶和机械紧固机构与真空室加热阱的非真空侧紧密接触，以获得对真空室体受热面的均匀传热，并通过热辐射对与室体加热面平行的平面样品进行均匀传热，从而实现真空室内的大面积样品获得高度均匀的加热，提高了可达到的样品温度，并彻底避免了加热炉对样品和真空室的污染。
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