公开(公告)号：CN101576711A

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：CN200810154742.4

申请日：2008-12-31

Applicant: 南开大学

Inventor： 涂成厚 ,  张双根 ,  吕福云 ,  李勇男 ,  王宏杰

IPC: G03F7/00 ,  G02B6/122 ,  G02B6/26 ,  G02F1/377

Abstract: 一种利用飞秒激光在透明固体材料中制作光波导的装置及方法。该装置包括：飞秒激光器系统、可变衰减器、分束器、功率计、显微物镜、三维移动平台和CCD探测器。制作方法是：由飞秒激光系统产生飞秒脉冲，将脉冲能量衰减至所需大小，通过显微物镜紧聚焦将飞秒脉冲垂直入射到透明材料表面以下，利用飞秒激光和材料非线性作用产生的折射率变化，从而制作出二维或三维光波导，采用多趟扫描刻写或刻写两线式波导可优化制作波导的形状和尺寸。本发明在透明固体材料中刻写掩埋波导工艺简单，可方便、高效的制作如耦合器、分束器以及用来产生二次谐波的波导等二维或三维波导结构，是一种简便、新颖而且高效的光波导制作技术，可广泛应用于集成光学领域。