基于光频率测量的超高精度小角度测量仪器和基准装置

    公开(公告)号:CN119223204A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202411353554.X

    申请日:2024-09-26

    Abstract: 本发明提供一种基于光频率测量的小角度测量基准装置,其包括依序设置在光路上的激光发生装置、窄带干涉片(3)、反射镜组和拍频测量模块,窄带干涉片(3)固定在一高精密水平旋转台(4)上,激光发生装置输出的光经过窄带干涉片(3)后得到的窄带光,最终由反射镜组输出被测激光;被测激光输入至拍频测量模块,与由光梳系统输出的梳齿进行拍频比对,通过测量拍频频率Δf获得窄带干涉片旋转角度。由于光梳频率的频率波动为Hz量级,而自由运行窄带干涉片激光器的频率波动在几十kHz,因此角度测量极限可转换成几十kHz的激光频率测量,对应的角度测量极限约0.0001″。本发明的小角度测量基准装置可满足高精密设备的应用需求。

    基于激光频率测量的高分辨力小角度测量基准装置

    公开(公告)号:CN119394219A

    公开(公告)日:2025-02-07

    申请号:CN202411353573.2

    申请日:2024-09-26

    Abstract: 本发明提供一种基于激光频率测量的高分辨力小角度测量装置,包括激光发生装置、反射镜组和拍频测量模块,将窄带干涉片(3)和透明固体介质(4)固定在高精密水平旋转台(5)上,窄带干涉片(3)和透明固体介质(4)的固定位置是以所述旋转台垂直于光路的直径为轴对称且不平行;当高精密水平旋转台(5)发生旋转引起被测激光频率变化Δf时,拍频频率的变化量等于Δf。本发明的小角度测量装置借助激光频率对透明固体介质旋转角度的高度敏感性,将角度的测量转化为频率的测量,通过增加干涉片使腔模频率与干涉片的透射频率同步变化,以解决透明固体介质旋转引起的激光频率可调谐范围小的问题,实现微小角度连续测量。

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