一种光子陀螺芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN110082858B

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN201910337314.3

    申请日:2019-04-25

    Abstract: 本发明公开了一种光子陀螺芯片及其制备方法,属于集成芯片领域。包括激光器、Y分支波导、谐振腔、直波导一、探测器一和探测器二;所述Y分支波导的一端连接激光器,另一端连接谐振腔;所述谐振腔上连接有直波导一;所述直波导一的一端连接探测器一、另一端连接探测器二。本发明提高了光学陀螺的集成度和灵敏度。

    回音壁微腔声学传感器
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110440897B

    公开(公告)日:2021-06-22

    申请号:CN201910624048.2

    申请日:2019-07-11

    Abstract: 本发明公开了一种回音壁微腔声学传感器及其双环谐振腔的制备方法。所述传感器包括激光器、光谱系统和双环谐振腔;所述激光器用于发射激光至光谱系统;所述光谱系统用于将激光垂直反射至双环谐振腔。本发明提高了声学传感器的灵敏度且能高效检测声波。

    一种光子陀螺芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN110082858A

    公开(公告)日:2019-08-02

    申请号:CN201910337314.3

    申请日:2019-04-25

    Abstract: 本发明公开了一种光子陀螺芯片及其制备方法,属于集成芯片领域。包括激光器、Y分支波导、谐振腔、直波导一、探测器一和探测器二;所述Y分支波导的一端连接激光器,另一端连接谐振腔;所述谐振腔上连接有直波导一;所述直波导一的一端连接探测器一、另一端连接探测器二。本发明提高了光学陀螺的集成度和灵敏度。

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