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公开(公告)号：CN118243959A
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202410259131.5
申请日：2024-03-07
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P5/26 , G01P5/00 , G01P13/02 , H01L31/173 , H01L31/18
Abstract: 本发明提出了一种基于光电子集成芯片的风速风向传感器及其制作方法，该传感器包括：印制电路板；氮化镓光电子集成芯片，嵌于所述印制电路板中心；发光器件，位于所述氮化镓光电子集成芯片的中心，用于发出光线；反射薄膜，设置在所述氮化镓光电子集成芯片的上方并有一定间隔，所述反射薄膜为弹性薄膜，在风压下产生弹性形变，用于对所述光线进行反射；光电探测器件，设置在所述发光器件四周，即位于所述氮化镓光电子集成芯片的四角，用于接收经所述反射薄膜反射的光线，并生成用于测算风速风向的电信号。将风压测量和光电测量结合在同一个结构中，实现风速风向传感器在尺寸、响应时间和成本上的改善。
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