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公开(公告)号:CN114613678A
公开(公告)日:2022-06-10
申请号:CN202210247344.7
申请日:2022-03-14
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L21/336 , H01L21/78 , H01L29/78 , H01L21/02
Abstract: 一种基于二维材料异质结的铁电场效应晶体管的制作方法,该方法利用二维铁电材料和去离子水的共同作用,通过施加门电压的方式,使得二维铁电材料和去离子水共同产生极化,使极化效应增强,共同作用于导电沟道,通过不同极化方向来调控沟道的电子掺杂浓度,从而改变沟道层的电阻大小,可使铁电场效应晶体管实现‘导通’和‘断开’的两种状态,对应于器件的低电阻态和高电阻态。由于去离子水的加入,使得极化效应大大增强了,器件的电阻率有很大的提高。
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