微球表面缺陷检测翻转辅助装置

    公开(公告)号:CN109277961B

    公开(公告)日:2020-06-05

    申请号:CN201810993315.9

    申请日:2018-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种微球表面缺陷检测翻转辅助装置,包括测试吸嘴、第一精密位移台、x方向位移台、y方向位移台、第二精密旋转台、第一连接板、辅助吸嘴和翻转辅助机构,所述翻转辅助机构包括三个位移台,其中两个位移台组合放置在底部位置,控制辅助吸嘴水平方向二维移动,平移台上部垂直放置一个位移台,用于控制辅助吸嘴纵向移动,所述辅助吸嘴固定在翻转辅助机构上方,可吸附微球进行移动,测试吸嘴在微球右侧,用来吸附微球进行测量。本发明可实现微球表面缺陷检测时对微球进行翻转。

    一种基于干涉成像光谱仪的高精度波长定标方法

    公开(公告)号:CN110017898A

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201910248039.8

    申请日:2019-03-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于干涉成像光谱仪的高精度波长定标方法,包括以下内容:以某一波长的单色光作为光源,采集干涉条纹图;从干涉条纹图中提取某一行干涉条纹信息构成干涉信号I;对干涉信号I进行扩展获得信号长度为I信号长度M倍的信号Ie;获取信号Ie的频谱强度信息FIe;提取频谱强度信息FIe中峰值位置的横坐标Ke,并由Ke和M获取波数位置坐标K;以若干不同波长的单色光分别作为光源,重复前述过程;对所有波长与其对应的波数位置坐标的关系数据进行曲线拟合,由此获得波长定标结果。本发明能够在不增加太多计算复杂度的情况下显著提高波长定标中谱线位置的定位精度。

    计算光谱成像装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105628200B

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201510993041.X

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种计算光谱成像装置,包括第一成像物镜、准直物镜、半透半反镜、色散元件、第二成像物镜、反射式空间光调制器、第三成像物镜和探测器,其中共光轴依次设置第一成像物镜、准直物镜、半透半反镜和色散元件,在色散光方向依次第二成像物镜和反射式空间光调制器,在半透半反镜的反射光路上依次设置第三成像物镜和探测器;所有光学元件相对于成像装置底座同轴等高。本发明单次即可获取包含完整探测场景的二维图像信息及一维光谱信息;而传统的色散成像光谱仪单次只能获取探测场景一个维度的图像信息。不需要图像拼接,空间分辨率不受狭缝宽度限制,具有高空间分辨率的优点。

    一种基于偏振干涉的高光谱成像装置及其成像方法

    公开(公告)号:CN106289527A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610629697.8

    申请日:2016-08-03

    Abstract: 本发明公开了一种基于偏振干涉的高光谱成像装置及其成像方法,共光轴依次设置前置成像物镜、光阑、准直物镜、偏振分束器、λ/2波片、Savart板、λ/4波片,上述元件所在光轴为第一光轴;共光轴依次设置偏振分光棱镜、后置成像物镜和探测器,上述元件所在光轴为第二光轴;第一光轴和第二光轴垂直。目标透射或反射的光束经过该装置在探测器上产生包含干涉信息的二维图像,利用傅里叶变换光谱复原方法处理便能获得目标的对应的光谱图像。本发明首次将Savart板和λ/4波片组成横向剪切分束器,可为结构稳定、低复杂度的高光谱成像仪器提供一种有效的技术途径。

    一种高空间分辨率的全斯托克斯偏振调制成像分束器

    公开(公告)号:CN105404014A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201510990084.2

    申请日:2015-12-24

    CPC classification number: G02B27/283 G01J3/0224

    Abstract: 本发明公开了一种高空间分辨率的全斯托克斯偏振调制成像分束器,包括沿入射光方向依次放置的部分偏振分光棱镜、高反镜、第一相位延迟器、第二相位延迟器和Wollaston棱镜。所有光学元件相对于仪器底座平面同轴等高;部分偏振分光棱镜透过80%的p波和20%的s波,反射20%的p波和80%的s波;第一相位延迟器为1/4波片,快轴与透射p光偏振方向的夹角为45°;第二相位延迟器为1/2波片,快轴与透射p光偏振方向的夹角为22.5°。本发明系统结构紧凑轻小,单次测量便可获得探测目标全斯托克斯偏振信息图像,且子图像排布呈田字形,空间分辨率高。

    一种基于对称楔形干涉腔的高光谱全偏振成像装置及方法

    公开(公告)号:CN104568151A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201310483123.0

    申请日:2013-10-15

    Abstract: 本文发明一种基于对称楔形干涉腔的高光谱全偏振成像装置和方法,该装置沿光路方向依次放置前置成像物镜、对称楔形干涉腔系统、微偏振调制阵列、探测器及信号处理系统。方法步骤为:第一步,入射光经前置成像物镜,到达对称楔形腔,形成多光束干涉;第二步,光束经过微偏振调制阵列,同一物点经过微偏振调制阵列四个偏振象元调制后在探测器靶面上同时生成四个偏振态的干涉像点;第三步,经过推扫,获取目标点不同光程差下的四组偏振干涉信息;第四步,信号处理系统经过光谱复原、偏振信息重构后获取场景的二维光强信息、光谱信息及各谱段的全偏振参量。该方法具有高光谱分辨率、高光通量、高目标分辨率以及光谱信息和偏振信息同步获取等优点。

    成像相机辅助监测定位装置

    公开(公告)号:CN109297985A

    公开(公告)日:2019-02-01

    申请号:CN201810993471.5

    申请日:2018-08-29

    CPC classification number: G01N21/951 G01N21/01

    Abstract: 本发明公开了一种成像相机辅助监测定位装置,包括成像和图像采集组件、相机控制组件和装置盒;成像组件包括两个视场正交的成像相机,微球夹持过程中,通过相机控制组件控制相机,分别对微球的水平和竖直方向进行成像,以监测微球的夹持位置;通过计算机采集微球绕旋转轴旋转一周的若干幅图像,并进行处理得到微球旋转轨迹,根据轨迹得到轨迹圆中心,定位出旋转轴线位置。本发明设计合理,结构简单紧凑,结构简单紧凑,轴线定位方法直观便捷并且十分精确,解决了人工监测定位导致的精度不足,误差较大的问题。

    基于视场梯度调制干涉的高光谱成像装置和方法

    公开(公告)号:CN106595858B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201510686403.0

    申请日:2015-10-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于视场梯度调制干涉的高光谱成像装置和方法,该装置沿光路方向依次放置成像物镜、梯度干涉调制系统、探测器及信号处理系统。可实现对场景目标的二维光强信息和光谱信息的同步获取。系统采用直光路,利用双折射晶体的光学特性,设计了微型梯度干涉调制器件,将其置于成像系统的探测器靶面前,在对目标实现光谱探测的同时,对整个成像系统的体积和重量影响不大。该方法具有高光通量、高空间分辨率以及轻小型化等优点。

    一种高空间分辨率的全斯托克斯偏振调制成像分束器

    公开(公告)号:CN105404014B

    公开(公告)日:2017-09-22

    申请号:CN201510990084.2

    申请日:2015-12-24

    Abstract: 本发明公开了一种高空间分辨率的全斯托克斯偏振调制成像分束器,包括沿入射光方向依次放置的部分偏振分光棱镜、高反镜、第一相位延迟器、第二相位延迟器和Wollaston棱镜。所有光学元件相对于仪器底座平面同轴等高;部分偏振分光棱镜透过80%的p波和20%的s波,反射20%的p波和80%的s波;第一相位延迟器为1/4波片,快轴与透射p光偏振方向的夹角为45°;第二相位延迟器为1/2波片,快轴与透射p光偏振方向的夹角为22.5°。本发明系统结构紧凑轻小,单次测量便可获得探测目标全斯托克斯偏振信息图像,且子图像排布呈田字形,空间分辨率高。

    高通量双折射干涉成像光谱仪装置及其成像方法

    公开(公告)号:CN106404174A

    公开(公告)日:2017-02-15

    申请号:CN201610809243.9

    申请日:2016-09-07

    CPC classification number: G01J3/2823 G01J3/45

    Abstract: 本发明公开了一种高通量双折射干涉成像光谱仪装置及其成像方法,包括共光轴依次设置的前置成像物镜、光阑、准直物镜、第一平行分束偏光棱镜、第一Wollaston棱镜、第二Wollaston棱镜、第二平行分束偏光棱镜、成像物镜和探测器。来自目标的入射光在探测器上形成干涉,由探测器获得目标的干涉图像信息,最后经过傅立叶变换光谱复原处理后得到目标的光谱信息。本发明相比于传统的双折射干涉成像光谱系统,在装置中引入平行分束偏光棱镜,将光通量提高到50%以上,提高了系统信噪比,有利于提高光谱复原精度。

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