公开(公告)号：CN106609351A

公开(公告)日：2017-05-03

申请号：CN201510689003.5

申请日：2015-10-21

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 江晓红 ,  刘光辉 ,  庄玉召 ,  德米特里·冰利普左夫 ,  陆路德

IPC: C23C14/28 ,  C23C14/58 ,  C23C14/08

CPC classification number: C23C14/28 ,  C23C14/083 ,  C23C14/5806

Abstract: 本发明公开了一种氮掺杂二氧化钛薄膜的制备方法。在通入少量氮气的情况下，采用磁过滤真空直流阴极弧蒸发工艺在石英基底上沉积了氮掺杂钛薄膜，随后将其置于马弗炉中在大气氛围下退火处理制备了氮掺杂二氧化钛薄膜。该制备方法以金属钛为钛源，成本低廉且制备过程简单易行、可控性强。制得的氮掺杂二氧化钛薄膜表面微观粗糙度较小、结晶度高，具有较高的紫外-可见光吸收能力。

公开(公告)号：CN105369199A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201510665765.1

申请日：2015-10-15

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 江晓红 ,  庄玉召 ,  亚历山大·罗加乔夫 ,  德米特里·冰利普左夫 ,  刘光辉 ,  田清岭 ,  朱书茵

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/28 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明公开了一种耐摩擦磨损抗腐蚀碳基薄膜的制备方法，选用磁过滤真空阴极电弧设备对真空室中旋转夹上金属材料用高能氩离子轰击，待真空室冷却至室温，用磁分离金属等离子体直流弧蒸发器沉积一定厚度的铬过渡层，接着同时启动磁过滤直流阴极弧和脉冲阴极弧蒸发制备铬掺杂非晶碳膜，并惰性气氛围中选用合适温度和时间做退火处理。本发明制备的薄膜具有硬度大、耐摩擦磨损、抗腐蚀等性能，满足一些特殊环境中使用的金属材料表面防护。