公开(公告)号：CN112885684B

公开(公告)日：2022-09-27

申请号：CN202110149423.X

申请日：2021-02-03

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 张益军 ,  宋淳 ,  荣敏敏 ,  李诗曼 ,  张锴珉 ,  舒昭鑫 ,  李姗 ,  詹晶晶 ,  钱芸生

IPC: H01J29/04 ,  H01J31/50 ,  H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种提高GaAs光电阴极稳定性的激活方法，包括两次Cs/Li/NF3激活，分别在两次高温净化之后各进行一次激活。本发明的操作步骤少，Cs源一直保持开启状态，Li源的开启和关闭只需判定光电流的大小，NF3的开启和关闭只需控制阀门开关，可操作性强，且光电阴极稳定性提升显著。

公开(公告)号：CN112885684A

公开(公告)日：2021-06-01

申请号：CN202110149423.X

申请日：2021-02-03

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 张益军 ,  宋淳 ,  荣敏敏 ,  李诗曼 ,  张锴珉 ,  舒昭鑫 ,  李姗 ,  詹晶晶 ,  钱芸生

IPC: H01J29/04 ,  H01J31/50 ,  H01J37/02 ,  H01J37/26 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种提高GaAs光电阴极稳定性的激活方法，包括两次Cs/Li/NF3激活，分别在两次高温净化之后各进行一次激活。本发明的操作步骤少，Cs源一直保持开启状态，Li源的开启和关闭只需判定光电流的大小，NF3的开启和关闭只需控制阀门开关，可操作性强，且光电阴极稳定性提升显著。