-
公开(公告)号:CN107642767A
公开(公告)日:2018-01-30
申请号:CN201710889868.5
申请日:2017-09-27
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种LED散热基材表面无粘胶超导热复合涂层、LED散热基板及其制备方法,复合涂层包括覆盖在基材层上的类金刚石碳膜层以及覆盖在类金刚石碳膜层上的纯铜层。该LED散热基板包括基材层及覆盖在其上的无粘胶超导热复合涂层。制备方法,包括以下步骤:(1)以碳靶材为蒸发源,以氩气和烷烃类气体的混合气体为工作气体,采用离子镀工艺在基材层表面沉积类金刚石碳膜层;(2)以铜靶材为蒸发源,以氩气为工作气体,采用离子镀工艺在类金刚石碳膜层表面沉积纯铜层。该LED散热基板具有无需绝缘胶、生产流程短、成本低、传热距离短、导热系数高、散热能力强等的特性,可满足大功率LED长寿命服役期之要求。