公开(公告)号：CN117890467A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202410063073.9

申请日：2024-01-16

Applicant: 南京大学

Inventor： 颜学俊 ,  赵泓远 ,  陈志恒 ,  姚俊亨 ,  侯玥盈 ,  徐晓东 ,  卢明辉 ,  陈延峰

IPC: G01N29/04

Abstract: 本发明公开了一种基于超快光声原理的离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统，该检测方法包括：(1)对包含离子注入的样品进行基于超快光声技术的泵浦光激励，产生高频相干声脉冲，接着用探测光接收超声脉冲，获得瞬态反射率随时间变化的信号；(2)对获得的瞬态反射率信号进行处理，利用时域布里渊振荡原理，以及离子注入区域对振荡振幅的调制，用模拟未注入信号与实际有注入信号作差，获得离子注入缺陷的深度分布结果。同时，本发明搭建了基于超快光声原理的检测系统。本发明提供了一种十纳米量级高精度离子注入缺陷的深度分布测量方法及系统，实现了无接触式的在线可集成无损检测，解决了现有检测手段有损测量问题。

公开(公告)号：CN114935557A

公开(公告)日：2022-08-23

申请号：CN202210518359.2

申请日：2022-05-13

Applicant: 南京大学

Inventor： 颜学俊 ,  陈志恒 ,  卢明辉 ,  丁雷 ,  陈延峰

IPC: G01N21/552 ,  G16C20/30 ,  G16C20/70 ,  G06N3/08

Abstract: 本发明公开了一种基于机器学习的多层纳米薄膜属性的预测方法，所述方法采用机器学习的神经网络预测模型，通过利用基于泵浦‑探测技术的超快激光超声实验平台及理论计算方法获取的瞬时反射率的变化数据，然后对数据集预处理及特征提取，最后将获得的特征数据集与薄膜材料属性进行对应，通过网络训练算法实现对多层纳米薄膜结构的材料属性的自动化预测。本发明适用于多层纳米薄膜的材料参数的检测领域，可以快速获取多层纳米薄膜的内部结构及光学、声学参数，检测精度高。