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公开(公告)号：CN117890467A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410063073.9
申请日：2024-01-16
Applicant: 南京大学
IPC: G01N29/04
Abstract: 本发明公开了一种基于超快光声原理的离子注入缺陷高精度无损检测方法及系统，该检测方法包括：(1)对包含离子注入的样品进行基于超快光声技术的泵浦光激励，产生高频相干声脉冲，接着用探测光接收超声脉冲，获得瞬态反射率随时间变化的信号；(2)对获得的瞬态反射率信号进行处理，利用时域布里渊振荡原理，以及离子注入区域对振荡振幅的调制，用模拟未注入信号与实际有注入信号作差，获得离子注入缺陷的深度分布结果。同时，本发明搭建了基于超快光声原理的检测系统。本发明提供了一种十纳米量级高精度离子注入缺陷的深度分布测量方法及系统，实现了无接触式的在线可集成无损检测，解决了现有检测手段有损测量问题。
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