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公开(公告)号：CN117215098B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202311183141.7
申请日：2023-09-14
Applicant: 南京大学
Abstract: 本申请提供一种基于光学超晶格电光长周期光栅的滤波器及制备方法。通过基模和泄漏模之间的耦合，来实现通信波段的窄带滤波，可应用于光通信和光波导器件领域。滤波器包括：基底，埋藏绝缘层，薄膜层，周期极化超晶格波导，平板电极；光子芯片的基底，埋藏绝缘层和薄膜层通过晶片键合工艺依次键合，用于制备波导的薄膜，键合在基底、埋藏绝缘层之上，薄膜上表面通过光刻技术刻出波导，波导上通过极化技术形成周期极化超晶格，并在波导两侧平板上覆盖金属平板电极，实现可调电光光栅的功能。本申请的基于光学超晶格电光长周期光栅的滤波器不需要严苛的工艺设备与条件，结构简单，降低了器件的制作难度，对设备要求低，工艺容差大，参数易于控制。
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公开(公告)号：CN117215098A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311183141.7
申请日：2023-09-14
Applicant: 南京大学
Abstract: 本申请提供一种基于光学超晶格电光长周期光栅的滤波器及制备方法。通过基模和泄漏模之间的耦合，来实现通信波段的窄带滤波，可应用于光通信和光波导器件领域。滤波器包括：基底，埋藏绝缘层，薄膜层，周期极化超晶格波导，平板电极；光子芯片的基底，埋藏绝缘层和薄膜层通过晶片键合工艺依次键合，用于制备波导的薄膜，键合在基底、埋藏绝缘层之上，薄膜上表面通过光刻技术刻出波导，波导上通过极化技术形成周期极化超晶格，并在波导两侧平板上覆盖金属平板电极，实现可调电光光栅的功能。本申请的基于光学超晶格电光长周期光栅的滤波器不需要严苛的工艺设备与条件，结构简单，降低了器件的制作难度，对设备要求低，工艺容差大，参数易于控制。
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