一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法

    公开(公告)号:CN108427453A

    公开(公告)日:2018-08-21

    申请号:CN201810494285.7

    申请日:2018-05-22

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统及方法,属于温度控制领域。它包括光学测温仪和真空规,还包括计算机和电流源,所述的光学测温仪和真空规位于超高真空样品加热设备内,红外测温仪和真空规与计算机连接,计算机与电流源连接,电流源与样品连接。利用温度对加热样品电流的负反馈,从而实现对温度简单,快捷,精准的控制,主要利用RS232串口连接各个仪器,然后计算光学测温仪测量得到的样品温度与事先设定好的样品温度之差,通过PID算法反馈设定电流源给样品所加电流。尽管不同的样品由于尺寸,制作等原因,加热所需电流各不相同,但本发明都可以在半分钟内将样品温度精确控制到设定温度1℃以内。

    一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统

    公开(公告)号:CN208538003U

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201820763323.X

    申请日:2018-05-22

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种超高真空下样品热处理工艺的自动化温度控制系统,属于温度控制领域。它包括光学测温仪和真空规,还包括计算机和电流源,所述的光学测温仪和真空规位于超高真空样品加热设备内,红外测温仪和真空规与计算机连接,计算机与电流源连接,电流源与样品连接。利用温度对加热样品电流的负反馈,从而实现对温度简单,快捷,精准的控制,主要利用RS232串口连接各个仪器,然后计算光学测温仪测量得到的样品温度与事先设定好的样品温度之差,通过PID算法反馈设定电流源给样品所加电流。尽管不同的样品由于尺寸,制作等原因,加热所需电流各不相同,但本实用新型都可以在半分钟内将样品温度精确控制到设定温度1℃以内。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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