采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN101956160B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201010505416.0

    申请日:2010-10-11

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法,包括如下三个步骤:(1)处理金属,使金属原子进入气相;(2)降低进入气相的金属原子的动能;(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面,形成金属薄膜。本发明提供的采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法,操作简单,并能够在柔性物质表面形成清晰的柔性物质/金属界面,且金属原子基本不会扩散到柔性物质薄膜内,保证柔性物质分子不受破坏,能够使柔性物质保持完好的物理化学性质,成膜质量高,薄膜间内应力小。

    采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法

    公开(公告)号:CN101956160A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN201010505416.0

    申请日:2010-10-11

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法,包括如下三个步骤:(1)处理金属,使金属原子进入气相;(2)降低进入气相的金属原子的动能;(3)将步骤(2)中获得的金属原子沉积在柔性物质表面,形成金属薄膜。本发明提供的采用气体散射方式在柔性物质表面蒸镀金属薄膜的方法,操作简单,并能够在柔性物质表面形成清晰的柔性物质/金属界面,且金属原子基本不会扩散到柔性物质薄膜内,保证柔性物质分子不受破坏,能够使柔性物质保持完好的物理化学性质,成膜质量高,薄膜间内应力小。

Patent Agency Ranking