一种双层复合薄膜非挥发存储器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN101174673A

    公开(公告)日:2008-05-07

    申请号:CN200710131465.0

    申请日:2007-08-31

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于硫化亚铜(Cu2S)和酞菁铜(Cu-Pc)的双层薄膜非挥发性记忆器件的制备。该器件总共包含五层结构,在镀有铂金电极(2)的基底(1)表面溅射一层绝缘阻隔层(3),并通过FIB工艺刻蚀圆孔,在绝缘层表面沉积一层酞菁铜(Cu-Pc),随后溅射沉积一层硫化亚铜(Cu2S),接着在其表面沉积一层铜电极(5),最后分别从电极引出导线(6)。该方法提供了一种新型有机记忆存储器件制备途径,具有工作电压低,体积小,成本低,非挥发,读写高低阻态高等优点。

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