一种中红外波段的宽谱高效率探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN115101655A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210701390.X

    申请日:2022-06-20

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种中红外波段的宽谱高效率探测器,自下而上依次包括硅片、反射层和介质层,介质层的表面设置U型超导纳米线,U型超导纳米线的开口端分别与金电极一、金电极二相连,U型超导纳米线的两侧对称设置金天线,金电极一与恒压源相连,金电极二接地。本发明还公开了一种中红外波段的宽谱高效率探测器的制备方法。本发明的基于金天线增强的超导纳米线单光子探测器,具有场增益高、光敏面积大、纳米线吸收效率高、本征量子效率高、极低填充率等特点,能够高效率的应用于中红外波段探测应用领域;与传统的光学腔超导单光子探测器相比,具有工艺制备可行性高、与平面工艺兼容性高、具备场增益等优点,可以探测更宽波段的中红外光信号。

    一种具有高CO-PROX活性的CuOx/CeO2催化剂的制备方法

    公开(公告)号:CN102671666A

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201210136245.8

    申请日:2012-05-04

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种具有高CO-PROX活性的、含不同Cu物种的CuOx/CeO2催化剂的制备方法,它是将醋酸铜和CeO2载体放入研钵中,研磨一定时间后,于N2气氛下,分别于200-400℃下焙烧3小时,制得含不同Cu物种的CuOx/CeO2催化剂。本发明的优点是:制备过程不涉及溶剂,可有效避免活性物种流失及所带来的水环境污染,更重要的是,这类催化剂具有很高的CO-PROX活性和选择性,用简单易得的非贵金属Cu作为活性成分,达到跟贵金属媲美的高活性。

    一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113252167B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202110544264.3

    申请日:2021-05-19

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法,包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤,光纤包括纤芯和包层;光纤嵌入在玻璃插芯内,玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内,该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上;超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯;电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧;本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面,可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器,大幅度提高了超导单光子探测器的集成度,降低了工艺制作步骤,从而扩展了应用领域。

    一种器件微区工艺测量和校正方法

    公开(公告)号:CN114111603B

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202111419008.8

    申请日:2021-11-26

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种器件微区工艺测量和校正方法,首先,构建器件微区工艺测量系统;将待测样品放置在位移平台上,保证待测样品的水平度;其次,根据图像显示设备提供的信息,来判断待测样品上的目标区域的位置,用位移平台进行调节待测样品的位置;图像采集设备负责采集待测样品的目标区域内的RGB值,传递给图像处理装置;然后,图像处理装置利用加权算法将颜色通道数值转换成灰度值,降低变量的数量,提高处理速度;最后,用电子束曝光机制备纳米图案的制备并验证。本发明提高了可操作性和成品率;可以更加准确地分析同一个样品上不同位置的薄胶均匀性,从而解决了传统方式依赖贵重设备和操作不便性的问题,提高了整体微纳加工工艺的时效性和可控性。

    一种全光纤超导单光子探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114777935A

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202210247315.0

    申请日:2022-03-14

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本申请公开了一种全光纤超导单光子探测器,包括超导纳米线、D型光纤,D型光纤包括纤芯和包层,超导纳米线位于D型光纤的抛光面,且覆盖于纤芯上。超导纳米线覆盖在D型光纤的纤芯上,光线从纤芯中直接进入超导纳米线中,光线不需在空气中传输,不需设计特殊的对准结构,光线非常容易即可进入超导纳米线中,也不需耦合到片上波导,降低损耗,提升耦合效率,从根本上降低了光耦合的难度;超导纳米线还可以提高本征量子效率;本申请利用光纤进行导光,对入射光的波长限制降低,导光波长范围变宽,使得全光纤超导单光子探测器的光谱响应变宽,且光纤成本低。本申请还提供一种具有上述优点的制备方法。

    一种器件微区工艺测量和校正方法

    公开(公告)号:CN114111603A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111419008.8

    申请日:2021-11-26

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种器件微区工艺测量和校正方法,首先,构建器件微区工艺测量系统;将待测样品放置在位移平台上,保证待测样品的水平度;其次,根据图像显示设备提供的信息,来判断待测样品上的目标区域的位置,用位移平台进行调节待测样品的位置;图像采集设备负责采集待测样品的目标区域内的RGB值,传递给图像处理装置;然后,图像处理装置利用加权算法将颜色通道数值转换成灰度值,降低变量的数量,提高处理速度;最后,用电子束曝光机制备纳米图案的制备并验证。本发明提高了可操作性和成品率;可以更加准确地分析同一个样品上不同位置的薄胶均匀性,从而解决了传统方式依赖贵重设备和操作不便性的问题,提高了整体微纳加工工艺的时效性和可控性。

    一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN113252167A

    公开(公告)日:2021-08-13

    申请号:CN202110544264.3

    申请日:2021-05-19

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种宽光谱高效率超导单光子探测器及其制备方法,包括超导纳米线单元、电极、玻璃插芯、玻璃板套夹和光纤,光纤包括纤芯和包层;光纤嵌入在玻璃插芯内,玻璃插芯呈一定角度嵌入在玻璃板套夹内,该光纤、玻璃插芯和玻璃板套夹的端面均处于同一水平面上;超导纳米线单元设置在光纤的上表面并覆盖住纤芯;电极设置在包层上表面并位于超导纳米线单元两侧;本发明通过将超导纳米线单光子探测器设计在光纤端面,可制备得到宽光谱响应、高效率的光纤端面超导纳米线单光子探测器,大幅度提高了超导单光子探测器的集成度,降低了工艺制作步骤,从而扩展了应用领域。

    基于介质超表面的中红外高效率超导探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117479818A

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN202311425522.1

    申请日:2023-10-30

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于介质超表面的中红外高效率超导探测器及其制备方法,所述探测器包括介质超表面阵列、超导纳米线、衬底、电极和对准标记,介质超表面阵列由若干介质超表面单元周期性排布组成;超导纳米线结合于介质超表面阵列下,设置在衬底的上表面;电极设置在衬底上表面并位于超导纳米线单元两侧;通过对准标记能够制备出将介质超表面阵列直接耦合在超导纳米线上;采用电子束蒸发的方法,制备介质层;采用电子束曝光和等离子体刻蚀的方法,制备介质超表面阵列。本发明可制备得到中红外波段响应、高效率的介质超表面超导纳米线单光子探测器,大幅度提高了超导单光子探测器在中红外波段的性能,降低了工艺制作步骤。

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