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公开(公告)号：CN111812197A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010720819.0
申请日：2020-07-24
Applicant: 南京大学
IPC: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种基于负载质量和电导率协同作用的声表面波氢气传感器及其制备方法，传感器包括LiNbO3压电基底、叉指换能器、敏感层和外部电路，敏感层设置在LiNbO3压电基底的表面中部，在敏感层的两端各设置一个叉指换能器，一个叉指换能器通过逆压电效应在LiNbO3压电基底上激发出瑞利波，瑞利波通过LiNbO3压电基底的表面传输至另一个叉指换能器并通过压电效应重新转化为电信号；敏感层为Pt/RGO复合敏感层，其中Pt作为催化剂。本发明以Pt/RGO为敏感层，且吸附氢气导致负载质量增加和电导率变化产生了协同效应来共同实现对氢气高灵敏度的传感，可用于室温下痕量氢气的检测，提高了传感器对氢气的灵敏度。
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