一种基于无机-有机杂化纳米多孔膜/半导体金属氧化物的薄膜氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116794116A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310623615.9

    申请日:2023-05-29

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于无机‑有机杂化纳米多孔膜/半导体金属氧化物的薄膜氢气传感器及其制备方法,属于氢气传感器领域,本发明将传统半导体金属氧化物与介孔无机‑有机杂化层结合起来,在绝缘无机物或聚合物基底上利用分子层/原子层沉积技术,通过引入了一种多孔对苯二酚锌薄膜(Zn‑HQ),再沉积半导体金属氧化物(MO)薄膜,制备了MO/Zn‑HQ复合薄膜型氢气传感器,在无贵金属修饰的情况下,获得了灵敏度高、响应快速、选择性好、可低温工作的半导体氧化物薄膜型氢气传感器。该氢气传感器结构简单,氢敏性能出色,且制备工艺与微电子工艺兼容,便于应用于集成化、微型化与智能化的微机电系统与多功能传感器中。

    一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111678963A

    公开(公告)日:2020-09-18

    申请号:CN202010576334.9

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法,属于生物传感器领域,实现了对多巴胺的快速电化学响应,具有低至0.4pM的检测限,优异选择性,且工艺简单、成本低廉,适合临床诊断和生理功能检测,特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO2超薄膜、导电硅衬底、Al电极;采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO2超薄膜;再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触,即获得了多巴胺生物传感器。

    一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111678963B

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202010576334.9

    申请日:2020-06-22

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法,属于生物传感器领域,实现了对多巴胺的快速电化学响应,具有低至0.4pM的检测限,优异选择性,且工艺简单、成本低廉,适合临床诊断和生理功能检测,特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO2超薄膜、导电硅衬底、Al电极;采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO2超薄膜;再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触,即获得了多巴胺生物传感器。

    一种高灵敏度、宽响应范围柔性应力/应变传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN112697033A

    公开(公告)日:2021-04-23

    申请号:CN202011431259.3

    申请日:2020-12-07

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度、宽响应范围柔性应力/应变传感器及其制备方法,属于传感器领域,获得具有超高灵敏度、超低检测限、宽拉伸范围、快响应时间和超高稳定性的柔性应力/应变传感器。本发明的柔性应力/应变传感器从下往上依次为具有筛网结构的可拉伸聚合物基底、金属薄膜、金属纳米颗粒@碳纳米管复合层、金属薄膜、聚合物保护膜;传感功能层为金属薄膜/金属纳米颗粒@碳纳米管复合层/金属薄膜,获得了超宽量程(应变0.02%~90%)和超高灵敏度(最高GF值为13590),快的响应速度(~100ms)和优异的循环稳定性(≥18000次)。且应用在人体运动检测、人体脉搏监测和声音检测等场景中,获得了较好的效果。

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