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公开(公告)号：CN218445132U
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202221953819.6
申请日：2022-07-27
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本实用新型公开了一种基于环形分裂共振腔的高灵敏集成传感器，涉及光波导传感技术领域，传感器结构包括基底层、刻蚀有直狭缝波导的金属膜层、矩形谐振腔和环形分裂共振腔组成，其中环形分裂共振腔由一个开口与内矩形腔组成，该结构使得特定频率下的输入光能够与环形分裂共振腔发生耦合，从而形成透射禁带，同时，透射禁带中心波长随外界温度和检测样品折射率改变而变化，因此，通过监测透射光谱变化，可以实时获得环境温度及待测样品的特性变化。本实用新型将为高灵敏度集成传感器件的设计提供重要技术思路。
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