公开(公告)号：CN107728589A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201710873080.5

申请日：2017-09-25

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 罗家祥 ,  陈璇 ,  胡跃明

IPC: G05B19/418

Abstract: 本发明公开了一种柔性IC基板蚀刻显影工艺过程的在线监控方法中，步骤：收集工艺过程中正常的历史数据集X，归一化得到 采用KPCA模型提取出的非线性主元矩阵T，对SVDD模型进行训练；非线性主元矩阵T中所有极限点构成极限点数据集；在线采集检测数据y，归一化得 进行以下检测：由当前KPCA模型提取出的非线性主元z′，输入至当前SVDD模型计算统计量，判定出y是否正常；若正常，对当前KPCA模型进行更新，若正常且z′为极限点，则更新极限点数据集；由更新后的极限点数据集对当前SVDD模型进行训练；当下一次在线采集到检测数据时，归一化后重复执行上述检测。本发明能够实现快速且准确的在线监控。

公开(公告)号：CN107728589B

公开(公告)日：2019-11-15

申请号：CN201710873080.5

申请日：2017-09-25

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 罗家祥 ,  陈璇 ,  胡跃明

IPC: G05B19/418

Abstract: 本发明公开了一种柔性IC基板蚀刻显影工艺过程的在线监控方法中，步骤：收集工艺过程中正常的历史数据集X，归一化得到采用KPCA模型提取出的非线性主元矩阵T，对SVDD模型进行训练；非线性主元矩阵T中所有极限点构成极限点数据集；在线采集检测数据y，归一化得进行以下检测：由当前KPCA模型提取出的非线性主元z′，输入至当前SVDD模型计算统计量，判定出y是否正常；若正常，对当前KPCA模型进行更新，若正常且z′为极限点，则更新极限点数据集；由更新后的极限点数据集对当前SVDD模型进行训练；当下一次在线采集到检测数据时，归一化后重复执行上述检测。本发明能够实现快速且准确的在线监控。

公开(公告)号：CN109912608A

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201910249767.0

申请日：2019-03-29

Applicant: 华南理工大学

Inventor： 陈璇 ,  刘海洋

IPC: C07D487/22 ,  A61K41/00 ,  A61P35/00

Abstract: 本发明公开了结构如式1或2或3所示的羟基取代咔咯配合物及其制备方法，改善化合物的水溶性和生物利用度，可作为光动力疗法的光敏剂。同时制备方法反应选择性好、产率高，有利于工业化生产：