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公开(公告)号:CN110470209A
公开(公告)日:2019-11-19
申请号:CN201910764251.X
申请日:2019-08-19
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于两步法的超精密圆度测量方法及装置。为了实施基于两步法的圆度测量,首先根据位移传感器的谐波不确定度及不确定度的传播规律,预测出不同测量角度下圆度测量结果的不确定度,并找出两步法的最优测量角度;其次,操作圆度测量装置,分别在第一转台和第二转台的相对角度为0度和最优测量角度下,测量得到两组工件表面的径向跳动信号,并将此两次信号带入两步法算法以计算出被测工件的圆度。而基于两步法的圆度测量装置主要由基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构构成。本发明的测量装置结构简单,且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播,令测量不确定度达到最小,测量精度达到最高。
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公开(公告)号:CN110470209B
公开(公告)日:2023-09-26
申请号:CN201910764251.X
申请日:2019-08-19
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于两步法的超精密圆度测量方法及装置。为了实施基于两步法的圆度测量,首先根据位移传感器的谐波不确定度及不确定度的传播规律,预测出不同测量角度下圆度测量结果的不确定度,并找出两步法的最优测量角度;其次,操作圆度测量装置,分别在第一转台和第二转台的相对角度为0度和最优测量角度下,测量得到两组工件表面的径向跳动信号,并将此两次信号带入两步法算法以计算出被测工件的圆度。而基于两步法的圆度测量装置主要由基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构构成。本发明的测量装置结构简单,且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播,令测量不确定度达到最小,测量精度达到最高。
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公开(公告)号:CN210426423U
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201921343531.5
申请日:2019-08-19
Applicant: 华南理工大学
IPC: G01B7/28
Abstract: 本实用新型公开了一种基于两步法的超精密圆度测量装置,包括基座、第一转台、第二转台、三爪卡盘、位移传感器和高度调节机构;所述第一转台安装于基座上;所述第二转台通过磁力吸座安装于第一转台上;所述三爪卡盘安装于第二转台上;所述第一转台的中轴线、第二转台的中轴线和三爪卡盘的中轴线均位于同一直线上;所述高度调节机构的下端安装于基座上;所述位移传感器的一端安装于高度调节机构,且所述位移传感器的探头轴线与基座表面平行。本实用新型的测量装置结构简单,且采用有效的手段以抑制测量不确定度的传播,令测量不确定度达到最小,测量精度达到最高。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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