一种金基镶嵌结构α-氧化铝薄膜及其制备方法与应用

    公开(公告)号:CN113684457A

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202110760816.4

    申请日:2021-07-06

    Abstract: 本发明公开了一种金基镶嵌结构α‑氧化铝薄膜及其制备方法与应用。本发明的金基镶嵌结构α‑氧化铝薄膜由金箔和α‑氧化铝薄膜层叠而成,且α‑氧化铝薄膜部分嵌入金箔。本发明的金基镶嵌结构α‑氧化铝薄膜中的金箔和α‑氧化铝薄膜之间的结合强度高,且α‑氧化铝薄膜的沉积温度低、表面粗糙度低,对CO2激光的波导反射损失小,能够长时间承受CO2激光器射频谐振腔等离子体的刻蚀和激光冲击,将其粘贴在铜基体上制备得到的铜电极适合用于功率高、寿命长、光束质量高、热稳定性好的CO2激光器。

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