-
公开(公告)号：CN113252737B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202110501819.6
申请日：2021-05-08
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及一种多孔硅气敏传感器及其制造方法。其中，本发明的多孔硅气敏传感器的多孔硅层处于衬底表面的中部区域，多孔硅层的外围被衬底所包围；多孔硅层从中心向外围分为中部内区域和中部外区域，中部内区域被中部外区域所包围；中部内区域的孔隙密度一致，中部外区域的孔隙密度从内向外逐渐降低，中部内区域的孔隙密度大于中部外区域的孔隙密度；金属栅线电极的内端处于多孔硅层上，金属栅线电极的外端延伸至多孔硅层外围的衬底之上并用于外接；处于多孔硅层上的金属栅线电极的宽度大于处于多孔硅层外围的衬底之上的金属栅线电极的宽度。本发明的多孔硅气敏传感器的栅线不容易断裂，具有较高的可靠性。
-
公开(公告)号：CN113252737A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110501819.6
申请日：2021-05-08
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明涉及一种多孔硅气敏传感器及其制造方法。其中，本发明的多孔硅气敏传感器的多孔硅层处于衬底表面的中部区域，多孔硅层的外围被衬底所包围；多孔硅层从中心向外围分为中部内区域和中部外区域，中部内区域被中部外区域所包围；中部内区域的孔隙密度一致，中部外区域的孔隙密度从内向外逐渐降低，中部内区域的孔隙密度大于中部外区域的孔隙密度；金属栅线电极的内端处于多孔硅层上，金属栅线电极的外端延伸至多孔硅层外围的衬底之上并用于外接；处于多孔硅层上的金属栅线电极的宽度大于处于多孔硅层外围的衬底之上的金属栅线电极的宽度。本发明的多孔硅气敏传感器的栅线不容易断裂，具有较高的可靠性。
-
公开(公告)号：CN108373345B
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201810039154.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 华北水利水电大学
Abstract: 本发明提供了一种激光打标刀片的涂层前预处理方法，将已经进行激光打标处理，具有激光打标槽的成品刀片，放入80‑95℃的热水中浸泡冲洗，去除杂质、油脂等，方便后续的酸碱溶液腐蚀处理、或者疏水层/保护层涂覆；将冲洗后的刀片置于氢氧化钠溶液中进行扩槽处理。本发明对刀具的预处理是酸或碱处理，或者涂覆处理，因为是批处理工艺，可以将大量刀具一次处理完成，之后进行硬质涂层的涂覆时便不再需要再次打标，避免了逐片打标的问题，节省了人力，更重要的是缩短了交货周期。
-
公开(公告)号：CN108373345A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810039154.X
申请日：2018-01-16
Applicant: 华北水利水电大学
Abstract: 本发明提供了一种激光打标刀片的涂层前预处理方法，将已经进行激光打标处理，具有激光打标槽的成品刀片，放入80-95℃的热水中浸泡冲洗，去除杂质、油脂等，方便后续的酸碱溶液腐蚀处理、或者疏水层/保护层涂覆；将冲洗后的刀片置于氢氧化钠溶液中进行扩槽处理。本发明对刀具的预处理是酸或碱处理，或者涂覆处理，因为是批处理工艺，可以将大量刀具一次处理完成，之后进行硬质涂层的涂覆时便不再需要再次打标，避免了逐片打标的问题，节省了人力，更重要的是缩短了交货周期。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109632542A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811625665.6
申请日：2018-12-28
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N3/40
CPC classification number: G01N3/40
Abstract: 本发明属于物理测量技术领域，具体涉及一种测量硬质涂层硬度的方法。本发明的测量方法包括以下步骤：在待测样品的硬质涂层上设置热塑性有机材料涂层；将热塑性有机材料涂层加热软化，然后在热塑性有机材料涂层上压出压痕，冷却，测量压痕尺寸，计算硬质涂层硬度。本发明通过在硬质涂层上设置具有一定塑性的有机材料涂层来降低压头对压痕周边的涂层的冲击作用，减小其碎裂程度；同时未被压头直接压到的涂层，被塑性的有机材料涂层包裹，即使其下方的粘合层失效，也不会大片脱落。本发明的方法能够减少硬度测量时压头压出的压痕四周的裂纹数量以及裂纹尺寸，同时对压痕尺寸具有一定的放大，从而使得硬质涂层的硬度测量波动性小。
-
公开(公告)号：CN117233216A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311202492.8
申请日：2023-09-18
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明属于氧化物气敏传感器领域，具体涉及一种双面电极型多孔硅基氧化物气敏传感器及其制备方法。该气敏传感器包括由下向上依次设置的硅基板、多孔硅层、氧化硅层和氧化物气敏层，所述氧化物气敏层上设有上电极，所述硅基板的背侧设有下电极；氧化物气敏层内设置有氧吸除材料区，所述氧化硅层内与氧吸除材料区对应位置设置有多孔硅区，多孔硅区的上部与氧吸除材料区相连通，下部与所述多孔硅层相连通，所述多孔硅区占据所述氧化硅层的一部分；所述氧吸除材料区的至少局部区域的上下方向上的电导率高于多孔硅的电导率。本发明利用氧吸除材料区在氧化硅层中形成空洞区域，降低了传感器的导通电阻，降低了器件工作电压。
-
公开(公告)号：CN109632542B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201811625665.6
申请日：2018-12-28
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N3/40
Abstract: 本发明属于物理测量技术领域，具体涉及一种测量硬质涂层硬度的方法。本发明的测量方法包括以下步骤：在待测样品的硬质涂层上设置热塑性有机材料涂层；将热塑性有机材料涂层加热软化，然后在热塑性有机材料涂层上压出压痕，冷却，测量压痕尺寸，计算硬质涂层硬度。本发明通过在硬质涂层上设置具有一定塑性的有机材料涂层来降低压头对压痕周边的涂层的冲击作用，减小其碎裂程度；同时未被压头直接压到的涂层，被塑性的有机材料涂层包裹，即使其下方的粘合层失效，也不会大片脱落。本发明的方法能够减少硬度测量时压头压出的压痕四周的裂纹数量以及裂纹尺寸，同时对压痕尺寸具有一定的放大，从而使得硬质涂层的硬度测量波动性小。
-
公开(公告)号：CN118914306A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411152566.6
申请日：2024-08-21
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种氧化铝湿敏传感器及其制备方法，属于传感器技术领域，本发明在硅衬底下表面设置有背面金属电极层，所述硅衬底的氧化硅层上表面设置有多孔氧化铝层，贯穿所述氧化铝层开设有第一通孔；所述多孔氧化铝层上表面设置有ZnO层，所述ZnO层上表面设置有ZnO:Al层，贯穿所述ZnO层和ZnO:Al层开设有第二通孔；所述ZnO:Al层上表面设置有正面金属电极层，所述背面金属电极层和正面金属电极层分别设置有金属焊盘电极。
-
公开(公告)号：CN215218647U
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202120704503.2
申请日：2021-04-07
Applicant: 华北水利水电大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本实用新型提供一种气敏传感器，用以解决现有的气敏传感器接触电阻高的问题。本实用新型的气敏传感器包括：支撑衬底，呈板状结构；绝缘隔离层，固设于支撑衬底上侧板面上；接触电极，固设于绝缘隔离层的上侧面上，成对设置且成对的两个接触电极相对布置；多孔硅层，设于绝缘隔离层上且将接触电极覆盖；接触电极连接有电极引线结构并用于将电信号导出。将接触电极设置在多孔硅层下方，先在绝缘隔离层上形成接触电极，然后设置多孔硅层，由于绝缘隔离层的性质较为稳定，在其上形成接触电极时不受温度、反应原料的限制，能够沉积更加良好的接触电极，进而使接触电极和多孔硅层形成欧姆接触，降低接触电极和多孔硅层之间的接触电阻。
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
9
records
(took 0.074 seconds)
