一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法

    公开(公告)号:CN119043210A

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202411305945.4

    申请日:2024-09-19

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及一种反射率不均样本三维形貌测量装置及方法,包括:结构光照明元件DLP、准直透镜组、偏振分光镜、1/4波片、电机、色散管镜、物镜、放置被测样本的载物台、聚焦透镜、二相色镜、第一滤光片、第一相机、全反射棱镜、第二滤光片、第二相机和微处理器;所述1/4波片、电机、色散管镜、物镜、载物台、聚焦透镜、第一相机及第二相机同光轴垂直,所述结构光照明元件DLP、偏振片和准直透镜组同光轴平行,且与被测样本反射的光轴线垂直。本发明结构简单,能够快速测量反射率不均样本的台阶高度,且能够通过宽场图像来消除因反射率不均带来的乘性误差,具有较高的测量精度。

    多波段超景深显微暗场高分辨图像获取装置及方法

    公开(公告)号:CN118838042A

    公开(公告)日:2024-10-25

    申请号:CN202411262392.9

    申请日:2024-09-10

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及一种多波段超景深显微暗场高分辨图像获取装置及方法,按照光信号传输的方向,依次包括:照明光源(2)、样本(1)、物镜(3)、色散管镜(5)、第一二向色镜(6)、反射镜(7)、第一聚焦透镜(8)、第一波段图像传感器(9)、第二聚焦透镜(10)、第二二向色镜(12)、第二波段图像传感器(11)、第三波段图像传感器(13)和工控机(14)。本发明结构简单,易于操作,结合色散管镜、第一二向色镜和第二二向色镜,利用三个波段图像传感器同步采集不同波段图像,使用工控机对不同波段图像进行合成及处理,能够提升超景深显微暗场高分辨图像获取效率和精度。

    一种微型光学透镜表面缺陷检测装置

    公开(公告)号:CN222866568U

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202421247849.4

    申请日:2024-06-03

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种微型光学透镜表面缺陷检测装置,用于采集检测样本的图像,包括相机和光学显微装置,光学显微装置设置有中间体光路、物镜和载物台,相机、中间体光路和物镜沿同一光轴由上至下依次设置,还包括穹顶光源,穹顶光源的遮光罩设于载物台上以使光从不同角度照射在检测样本上,遮光罩设置有进光孔,物镜端部伸入进光孔以接收经检测样本反射的光线,并经中间体光路整合成平行光返回到相机,相机得到检测样本的图像。本实用新型替代了人工目视法检测微型光学透镜表面缺陷,其检测结果的客观性更强,还兼顾高精度和高效率,能够适用于微型光学透镜高品质工业化生产的需求。

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