公开(公告)号：CN109355641B

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201811313431.8

申请日：2018-11-06

Applicant: 华中科技大学无锡研究院

Inventor： 陈蓉 ,  张晶 ,  刘潇 ,  单斌 ,  曹坤

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法，属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中，在适当的反应温度和压力下，选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入，在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应，生成致密的薄膜，对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高，尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密，具有均匀的厚度、优异的一致性，由于其反应机理的特点，可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。

公开(公告)号：CN109355641A

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201811313431.8

申请日：2018-11-06

Applicant: 华中科技大学无锡研究院

Inventor： 陈蓉 ,  张晶 ,  刘潇 ,  单斌 ,  曹坤

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明涉及一种无机颜料表面改性的方法，属于工业无机颜料改性技术领域。其通过对无机颜料进行球磨粉碎后将其置于粉末原子层沉积设备中，在适当的反应温度和压力下，选择合适活性与蒸汽压的前驱体交替通入，在无机颜料表面通过活性官能团的交换形成单层化学吸附并完成自限制化学半反应，生成致密的薄膜，对表面的各个部位进行厚度均匀一致的薄膜包覆。本发明采用的原子层沉积生成的纳米薄膜包覆均匀性较高，尤其对于颗粒较小的无机颜料可实现其均匀包覆。本发明通过原子层沉积生成的纳米薄膜结构致密，具有均匀的厚度、优异的一致性，由于其反应机理的特点，可实现对不同粒径的无机颜料的包覆。

公开(公告)号：CN107502873A

公开(公告)日：2017-12-22

申请号：CN201710945497.8

申请日：2017-09-30

Applicant: 华中科技大学无锡研究院

Inventor： 陈蓉 ,  张晶 ,  王禄荣 ,  曲锴 ,  李嘉伟 ,  段晨龙 ,  竹鹏辉 ,  葛浩然

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/4417 ,  C23C16/45544

Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置，其包括粉末容器和反应腔体，反应腔体的一端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管，反应腔体的另一端开设有腔门，粉末容器设置于腔门内侧，在动力装置的驱动下可实现旋转，粉末容器上开设有进气孔，进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔，反应腔体的内部设置有超声振动杆，粉末容器通过导向装置进入反应腔体后，粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合，可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率，也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚，使粉末分散，最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。

公开(公告)号：CN107502873B

公开(公告)日：2019-02-15

申请号：CN201710945497.8

申请日：2017-09-30

Applicant: 华中科技大学无锡研究院

Inventor： 陈蓉 ,  张晶 ,  王禄荣 ,  曲锴 ,  李嘉伟 ,  段晨龙 ,  竹鹏辉 ,  葛浩然

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种粉末包覆原子层沉积装置，其包括粉末容器和反应腔体，反应腔体的一端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入反应气体或载气的进气管，反应腔体的另一端开设有腔门，粉末容器设置于腔门内侧，在动力装置的驱动下可实现旋转，粉末容器上开设有进气孔，进气管通过进气孔进入粉末容器的内腔，反应腔体的内部设置有超声振动杆，粉末容器通过导向装置进入反应腔体后，粉末容器的外侧壁与超声振动杆接触。本发明将旋转方法和超声振动方法相结合，可以利用旋转增大粉末与反应气体的接触概率，也可以利用振动产生的能量解除粉末团聚，使粉末分散，最终在粉末表面包覆均匀致密的薄膜。