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公开(公告)号：CN109470152A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201811549854.X
申请日：2018-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种悬臂梁位移测量方法及系统，方法包括将经扩束准直后的平行光束分光成为参考光和测量光；所述参考光和所述测量光经反射后形成静态干涉条纹，所述静态干涉条纹随悬臂梁移动发生位移；采集静态干涉条纹信号并将干涉条纹信号转换成数字信号，根据控制信号测量大气参数；根据所述数字信号计算位移，根据所述大气参数进行折射率补偿。系统包括光路干涉模块、数据采集模块和计算机。该方法有效克服了电容式传声器动态测量范围小、灵敏度低等缺陷，与现有的悬臂梁传声器技术相比，降低了设备成本和设计难度，使得通过直接测量悬臂梁位移检测气体浓度成为可能。
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