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公开(公告)号：CN113693555B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202111013743.9
申请日：2021-08-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性传感器领域，具体涉及一种用于硬度检测的柔性传感器及其制备方法和应用。本发明柔性传感器，自上而下包括通过键合封装成型的电阻层、隔离层、上电极层、电介质层和下电极层，上电极层、电介质层和下电极层相配合能够测量压力，电阻层通过测量电阻的变化能够测量形变，所述柔性传感器结合压力和形变能够测量硬度。本发明通过测量传感器电阻层电阻的变化获得眼球形变信号，通过测量传感器电容的变化获得该传感器受到的压力，结合压力与形变信号，能够测量硬度，应用本发明用于对眼压的传感监测，相对于传统眼压计，无需作麻醉处理，无需直接接触角膜，不会对角膜上皮细胞造成不必要的损伤，降低了交叉感染的风险。
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公开(公告)号：CN113693555A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202111013743.9
申请日：2021-08-31
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性传感器领域，具体涉及一种用于硬度检测的柔性传感器及其制备方法和应用。本发明柔性传感器，自上而下包括通过键合封装成型的电阻层、隔离层、上电极层、电介质层和下电极层，上电极层、电介质层和下电极层相配合能够测量压力，电阻层通过测量电阻的变化能够测量形变，所述柔性传感器结合压力和形变能够测量硬度。本发明通过测量传感器电阻层电阻的变化获得眼球形变信号，通过测量传感器电容的变化获得该传感器受到的压力，结合压力与形变信号，能够测量硬度，应用本发明用于对眼压的传感监测，相对于传统眼压计，无需作麻醉处理，无需直接接触角膜，不会对角膜上皮细胞造成不必要的损伤，降低了交叉感染的风险。
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公开(公告)号：CN112834086B
公开(公告)日：2022-02-15
申请号：CN202011619165.9
申请日：2020-12-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于电容传感器领域，并具体公开了超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法。该超灵敏电容式柔性压力传感器包括上电极层、中间电介质层和下电极层，其中：上电极层和下电极层的结构相同，均包括柔性基体材料和镶嵌在该柔性基体材料表面的导电材料；中间电介质层的表面具有微凹槽结构，同时该微凹槽结构内部设置有微锥结构，以通过增大中间电介质层与上电极层或下电极层的接触面积，提高超灵敏电容式柔性压力传感器的灵敏度。本发明通过在电介质层表面设置微凹槽结构，使得电介质层能够在较宽的压力范围内显示出较大的变形和可压缩性，同时通过在微凹槽结构内部设置微锥结构，能够使得电介质层在较宽的压力范围内具有较高的灵敏度。
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公开(公告)号：CN112834086A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011619165.9
申请日：2020-12-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明属于电容传感器领域，并具体公开了超灵敏电容式柔性压力传感器及其制备方法。该超灵敏电容式柔性压力传感器包括上电极层、中间电介质层和下电极层，其中：上电极层和下电极层的结构相同，均包括柔性基体材料和镶嵌在该柔性基体材料表面的导电材料；中间电介质层的表面具有微凹槽结构，同时该微凹槽结构内部设置有微锥结构，以通过增大中间电介质层与上电极层或下电极层的接触面积，提高超灵敏电容式柔性压力传感器的灵敏度。本发明通过在电介质层表面设置微凹槽结构，使得电介质层能够在较宽的压力范围内显示出较大的变形和可压缩性，同时通过在微凹槽结构内部设置微锥结构，能够使得电介质层在较宽的压力范围内具有较高的灵敏度。
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