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公开(公告)号：CN119650497A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411828710.3
申请日：2024-12-12
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本申请属于混合键合领域，具体公开了一种用于混合键合的键合头和键合方法，其中该键合头包括键合头本体，键合头本体的下表面呈水平结构且沿边缘处开设有开口向下的环形气压槽；用于调节环形气压槽内部气压大小的正负气压装置；移动杆组件，移动杆组件包括主移动杆和多个副移动杆，主移动杆和副移动杆均贯穿键合头本体且多个副移动杆环绕于主移动杆的周侧布设。通过本申请键合头本体设置有环形气压槽，增大对待键合芯片的吸附力，在键合过程过程中，主移动杆和副移动杆能够推动待键合芯片后使其具有足够的形变量，且芯片不会与键合头本体之间发生脱离，提高混合键合的键合效果，避免键合界面产生空洞。
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公开(公告)号：CN110572073B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN201910870161.9
申请日：2019-09-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: H02N1/04
Abstract: 本发明属于纳米发电设备相关技术领域，并公开了一种混合型摩擦纳米发电机，其包括绝缘封装层、接地屏蔽层、绝缘层、第一导电元件、与第一导电元件下表面接触放置的第一摩擦层、第二导电元件、与第二导电元件上表面接触放置的第二摩擦层、位于第一摩擦层与第二摩擦层中间的第三摩擦层。工作时，所述第一摩擦层的下表面、第二摩擦层的上表面在外力的作用下分别与第三摩擦层的上、下表面接触分离，产生相对滑动摩擦，同时根据施加外力大小及方向的不同，二者摩擦面积发生变化，并通过导电元件向外电路输出交流脉冲电信号。通过本发明，不仅可有效提高纳米发电机的发电效率和输出能力，而且可赋予此纳米发电传感器更好的综合性能。
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公开(公告)号：CN116435225B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202310468678.1
申请日：2023-04-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种非接触式拾取芯片的位姿控制方法，芯片位姿控制相关技术领域，其包括一种非接触式拾取芯片的位姿调整设备，该设备包括有载物台、芯片旋流拾取机构、X轴平移组件、芯片吸附位姿调整机构、Y轴平移组件、视觉纠姿系统、激光纠姿系统；所述芯片旋流拾取机构位于所述载物台上，所述X轴平移组件横设在所述载物台上，其输出端和所述芯片吸附位姿调整机构连接；所述芯片吸附位姿调整机构垂直所述X轴平移组件的运动方向设置；所述Y轴平移组件纵向设置在所述载物台上，其可带动所述视觉纠姿系统、所述激光纠姿系统往复运动。本发明提供的非接触式拾取芯片的位姿调整设备及控制方法，提高超薄大芯片堆叠良品率，生产效率高。
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公开(公告)号：CN117322875B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311629863.0
申请日：2023-12-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/145 , A61B5/02 , A61B5/024 , A61B5/05 , C08F283/06 , C08F220/56 , C08F220/38
Abstract: 本发明提供了一种用于术后皮瓣穿支血管监测的可拆卸水凝胶电子系统，包括无线集成模块和前端检测模块，前端检测模块包括封装层、金属键合层和可拆卸水凝胶界面层，封装层内封装有传感电路，金属键合层和可拆卸水凝胶界面层依次设置在封装层上方，传感电路与无线集成模块直接连接，实现信号的实时存储与无线传输；可拆卸水凝胶界面层包括聚丙烯酸基底层和黏性水凝胶底层，聚丙烯酸基底层和黏性水凝胶底层通过Fe3+聚丙烯酸形成的锚定网络进行锚定，可拆卸水凝胶界面层在活性金属阳极和金属键合层作为惰性阴极电场的电解下，实现黏性水凝胶底层的快速拆卸。可拆卸水凝胶电子系统能通过施加电场实现黏性水凝胶底层的快速拆卸，避免患者交叉感染。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109188606B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN201811209836.7
申请日：2018-10-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B6/13
Abstract: 本发明属于光波导感知器件制备领域，并具体公开了一种柔性可拉伸光波导感知器件及其制备方法，该器件采用如下步骤制备：制备PVA牺牲层及硅光栅模板；对硅光栅模板的表面进行疏水处理；将两块经疏水处理的硅光栅模板置于牺牲层上，并保持光栅方向一致且光栅面朝上；将配置的未固化的柔性材料溶液旋涂在牺牲层上，并覆盖牺牲层上的硅光栅模板，然后加热固化；将固化后获得的器件整体放置于水中以溶解牺牲层，然后剥离硅片光栅模板，获得由柔性材料制成的柔性可拉伸光波导感知器件。本发明充分发挥柔性光波导的可拉伸性和弯曲性，具有制备工艺简单，操作方便等优点。
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公开(公告)号：CN116602686A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310516125.9
申请日：2023-05-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/296 , A61B5/266 , A61B5/259 , A61B5/20 , B29C69/00 , H01B13/00 , C08F251/00 , C08F2/38 , C08F220/30 , C08F220/34 , C08F222/38
Abstract: 本发明公开了一种用于尿动力监测的仿生疏水湿粘附柔性电极及制备方法，包括仿生超疏水外层、可拉伸导电层和水凝胶黏性层，仿生超疏水外层布置于水凝胶黏性层上，可拉伸导电层设置于仿生超疏水外层和水凝胶黏性层之间。本发明能够有效保证电极与人体皮肤的共形贴附，抗运动伪影性能显著提高，同时隔绝外界水渍干扰和抵抗尿液的影响，同时在尿液渗流和浸滞时不会脱落，能有效实现尿动力监测，在辅助监测排尿异常症状。
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公开(公告)号：CN116525488A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310468642.3
申请日：2023-04-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种晶圆沟道的直写填充装置，属于晶圆沟道填充技术领域，包括有架体，所述架体侧壁垂直设有偏心旋转组件，所述架体下端竖直穿设有弹性流道控制杆，所述弹性流道控制杆和所述偏心旋转组件的轴线垂直，所述架体下方设有供料组件，所述供料组件内设有供料流道，所述供料组件侧壁设有和所述供料流道内部连通的加料组件，所述弹性流道控制杆下端位于所述供料流道内，上端和所述偏心旋转组件的输出端接触；所述偏心旋转组件工作时，按压所述弹性流道控制杆，控制所述供料流道的开闭进行供料。本发明提供的晶圆沟道的直写填充装置，减少了填充材料的使用量，减少了需要打磨的面积，降低了加工难度，提高了生产效率，节约了生产成本。
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公开(公告)号：CN115767960A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211596735.6
申请日：2022-12-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于集成电路封装相关技术领域，其公开了一种叠层电路结构及其制备方法，该方法包括以下步骤：(1)在陶瓷板相背的两个表面上制备图案化线路，并在所述陶瓷板上制备互通孔道，所述互通孔道连接两个所述图案化线路；所述图案化线路上贴装有半导体器件；(2)在一个所述图案化线路上依次制备多个隔离层及多层电路以得到所述叠层电路结构；所述隔离层与所述电路交互设置；所述电路上贴装有半导体器件，所述半导体器件嵌设在对应的隔离层内，所述隔离层开设有互通孔道，所述互通孔道连接相邻的两层电路。本发明通过磁控溅射的工艺方式形成叠层电路结构，简化了原有多层电路制作工艺步骤。
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公开(公告)号：CN115721324A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211426638.2
申请日：2022-11-15
Applicant: 华中科技大学
IPC: A61B5/389 , H02N1/04 , A61B5/397 , A61B5/00 , A61B5/11 , A61B5/16 , A61B5/256 , A61B5/257 , A61B5/296 , G06F3/01 , G06F18/213 , G06F18/24
Abstract: 本发明属于人体运动监测与意图识别相关技术领域，其公开了一种人体运动意图识别的表皮摩擦纳米发电传感器与方法，所述传感器为柔性可拉伸结构，其包括腔体上盖、上摩擦层、下摩擦层、封装层、电极层、基底及黏附层，所述下摩擦层、所述封装层、所述电极层、所述基底及所述黏附层自上而下层叠设置；所述腔体上盖呈圆柱状，其一端开设有收容槽，所述上摩擦层及所述下摩擦层均位于所述收容槽内，且所述上摩擦层设置在所述收容槽的底面上；所述收容槽的开口端设置在所述封装层上，且所述收容槽的槽壁为镂空结构。本发明增强了电压信号输出，有效提高了传感器的最小检测应变与灵敏度。
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